플라즈마 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 거동과 측면 유도 결정화에 관한 연구 (A Study on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon Films by Plasma Treatments and Lateral Growth)

• 김덕녕;박성계;김형준;남승의
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.175-175
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  • 1999
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플라즈마 화학증착법으로 제조된 수소화된 비정질 탄화실리콘 박막의 전기 및 광학특성에 대한 붕소의 도핑효과 (Effect of Boron Doping Concentration on the Electrical and Optical Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide Thin Films Prepared by PECVD)

• 김현철;이재신
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.136-136
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  • 1999
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Cu를 이용한 비정질 실리콘의 전계 유도 방향성 결정화 특성분석 (Characterization of Field Aided Lateral Crystallization of amorphous silicon films using Cu)

• 권세열;이재복;박경완;최덕균
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.72-72
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  • 2001
• PDF

$NiCl_2$ Vapor에 의한amorphous Silicon의 금속유도 결정화

• 이수경;강나영;김태연;김형준
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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  • pp.175-175
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  • 2006
• PDF

레이저 열처리된 비정질 실리콘 박막의 결정화에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구 (High resolution transmission electron microscopy study on the crystallization of the laser annealed amorphous silicon thin films)

• 김진혁;이정용
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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  • pp.150-151
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  • 1993
• PDF

Pd과 Ni에 의한 비정질 실리콘의 측면 결정화 속도 향상 연구 (A Study of Enhancement of Lateral Crystallization Rate of Amorphous Silicon by Ni and Pd)

• 안평수;이병일;김광호;신진욱;정원철;주승기
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
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  • pp.116-116
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  • 1996
• PDF

유리 기판상에서의 비정질 실리콘의 전계 유도 방향성 결정화 (Field Aided Lateral Crystallization of Amorphous Silicon Films on Glass Substrates)

• 이재복;양용호;이찬재;김철호;최덕균
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 1999년도 추계학술발표회 초록집
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  • pp.57-58
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  • 1999
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LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과 (The Effect of Si Self Implantation on Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon Films Grown by LPCVD)

• 황의훈;노재상
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제10회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.42-42
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  • 1996
• PDF

증착 조건에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상결정화 거동과 미세구조의 변화 (Solid Phase Crystallization Behaviors and Microstructures of Amorphous Silicon Films Dependent on Deposition Conditions)

• 황석민;류명관;김기범;민석홍
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
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  • pp.87-87
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  • 1997
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PECVD법으로 제조된 B-doped 수소화된 비정질 실리콘카바이드 박막의 물성 (Physical Properties of Boron Doped Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide Thin Films Prepared by PECVD)

• 김현철;신혁재;이재신
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1999년도 춘계학술발표강연 및 눈문개요집
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  • pp.31-31
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  • 1999
• PDF

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