Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.11a
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- Pages.175-175
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- 1999
A Study on the Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon Films by Plasma Treatments and Lateral Growth
플라즈마 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 거동과 측면 유도 결정화에 관한 연구
Abstract
Keywords