A Study of Enhancement of Lateral Crystallization Rate of Amorphous Silicon by Ni and Pd

Pd과 Ni에 의한 비정질 실리콘의 측면 결정화 속도 향상 연구

  • 안평수 (서울대학교 재료공학부 신소재 연구소) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부 신소재 연구소) ;
  • 김광호 (서울대학교 재료공학부 신소재 연구소) ;
  • 신진욱 (서울대학교 재료공학부 신소재 연구소) ;
  • 정원철 (서울대학교 재료공학부 신소재 연구소) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부 신소재 연구소)
  • Published : 1996.11.01