High resolution transmission electron microscopy study on the crystallization of the laser annealed amorphous silicon thin films

레이저 열처리된 비정질 실리콘 박막의 결정화에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구

  • 김진혁 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1993.11.01