Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.9
no.6
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pp.21-28
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2010
This study shows an optimization procedure for an automatic determination on the gate position to ensure the fill-uniformity within a part cavity by using the injection molding simulation. For an optimization, the maximum pressure-difference within a part cavity induced at the stage of filling is used to evaluate degree of fill-uniformity. In addition, a direct search scheme based on the reduction of design space is developed and applied in the optimization problem. This corresponding proposed methodology was applied in the optimization on the gate location for a CD-tray molding, as a result, showed the improvement of the fill-uniformity within the cavity.
Eun Hyeong Kim;Yoon Hee Choi;Hyeon Ji Jeon;Woo Hyeok Jang;Garam Kim
Journal of the Semiconductor & Display Technology
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v.23
no.2
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pp.87-91
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2024
SiO2, renowned for its excellent insulating properties, has been used in the semiconductor industry as a valuable dielectric material. High-quality SiO2 films find applications in gate spacers and interlayer insulation gap-fill oxides, among other uses. One of the prevalent methods for depositing these SiO2 films is plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) favored for its relatively low processing costs and ability to operate at low temperatures. However, compared to the increasingly utilized atomic layer deposition (ALD) method, PECVD exhibits inferior film characteristics such as uniformity. This study aims to produce SiO2 films with uniformity as close as possible to those achieved by ALD through the adjustment of PECVD process parameters. we conducted a total of nine PECVD processes, varying the process time and gas flow rates, which were identified as the most influential factors on the PECVD process. Furthermore, ellipsometry analysis was employed to examine the uniformity variations of each process. The experimental results enabled us to elucidate the relationship between uniformity and deposition rate, as well as the impact of gas flow rate and deposition time on the process outcomes. Additionally, thickness measurements obtained through ellipsometer facilitate the identification of optimal process parameters for PECVD.
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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v.50
no.9
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pp.438-443
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2001
In the shallow trench isolation(STI)-chemical mechanical polishing(CMP) process, the key issues are the optimized thickness control, within-wafer-non-uniformity, and the possible defects such as pad oxide damage and nitride residue. The defect like nitride residue and silicon (or pad oxide) damage after STI-CMP process were discussed to accomplish its optimum process condition. To understand its optimum process condition, overall STI related processes including reverse moat etch, trench etch, STI fill and STI-CMP were discussed. Consequently, we could conclude that law trench depth and high CMP thickness can cause nitride residue, and high trench depth and over-polishing can cause silicon damage.
A new ionized sputtering process was developed to fill small trench or via using additional ionizing mechanism of sputtered particles from 32cm $AlCu_x$(x=0.5%) cathode target with rotating magnet, then drawn toward substrate by small negative DC potential. The radial uniformity in RFI magnetron sputtering was studied by plasma diagnosis and appropriate RFI coil design to improve it. Optical emission intensities of excited species. $Ar^{\circ}, \;Ar^+;Al^+, \;Al^{\circ}$ are measured across the radial direction and showed close correlation with deposit's bottom to top thickness ratios in trenches and vias of submicron opening and 1.5 aspect ratio. After increase of the diameter of RF coil from 29 cm to 32 cm and improved the power leading feedthrough symmetry by removal of asymmetric single turn region, there was an increase of uniformity from 7.5% to 1.5% in bottom to top thickness ratio in 0.6 $\mu\textrm{m}$ vias.
Kim, Woo-Young;Jang, Hyeok-Jin;Yang, Jong-Kyung;Park, Hyung-Jun;Park, Dae-Hee
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2009.06a
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pp.378-379
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2009
High intensity metal halide discharge lamp performance, specifically the generated luminous flux and light color content, depends critically on the arc tube design. Factors influencing the design and consequent lamp efficacy include : lamp size, geometry, arc tube composition, fill chemistry, electrode design and excitation modes. Shaping of Polycrystalline Alumina(PCA) can be realized by conventional ceramic processes. Several processes are applied nowadays. Well-known in the ceramic high pressure field for decades are the pressing and the extrusion method. Newly developed slurry and precious forming technologies give the one-body seamless tubes, which improve thickness uniformity and lighting performance. Now, we reported some optical properties with different arc tube structures of ceramic metal halide lamps.
The Transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers
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v.57
no.12
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pp.2244-2248
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2008
High intensity metal halide discharge lamp performance, specifically the generated luminous flux and light color content, depends critically on the arc tube design. Factors influencing the design and consequent lamp efficacy include : lamp size, geometry, arc tube composition, fill chemistry, electrode design and excitation modes. Shaping of Polycrystalline Alumina(PCA) can be realized by conventional ceramic processes. Several processes are applied nowadays. Well-known in the ceramic high pressure field for decades are the pressing and the extrusion method. Newly developed slurry and precious forming technologies give the one-body seamless tubes, which improve thickness uniformity and lighting performance. Now, we reported some optical properties with different arc tube structures of ceramic metal halide lamps.
Cha, Du Song;Chun, Kun Woo;Ji, Byoung Yun;Oh, Jae Heun
Journal of Forest and Environmental Science
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v.15
no.1
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pp.98-106
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1999
This study was carried out to analyze the mechanical properties of soil for counterplan of recovery construction and the slope stability on fill slope of Sang-gul forest road in Mt. Gari. To analyze the mechanical properties of apparent soil on fill slope in forest road, various soils such as soil, gravelly sandy soil, weathered rock were used as experimental sample in this study. In each experimental sample, particle size distribution test, liquid limit test, plastic limit test, and specific gravity test were carried by Korean industrial standards(KS F 2302, KS F 2303, KS F 2304, KS F 2306, KS F 2308). Through the results of soil particle size distribution analysis, soil moisture content analysis, and specific gravity analysis, soil texture, uniformity coefficient, curvature coefficient, dry density and specific gravity were able to be determined in sampling site. As a results in this study, soil was classified as SP, SW, GP by Unified Soil Classification Standard (USCS). specific gravity and dry unit weight of soil have the value range of 2.52~2.60 and 1.39~1.43, respectively. Also plastic index showed non plastic condition.
Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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v.11
no.2
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pp.79-85
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2006
As the portable information appliance is developed, the demand of flat panel display equipments and parts are steeply increased. Most of all, the applications of LCD such as LCD TV, monitor, digital camera, CNS(car navigation system) and game machine become diversified. With the result that the number of BLU production enterprise is increased and the research on the design of backlight with the superior optical properties is persistently in progress. In this study we developed the pattern design tools for CCFL(cold cathode flourescent lamp) backlight to improve the conventional pattern design environment in which the pattern is designed manually from the experience and the trial and error. For the verification of our research, we designed the light reflection surface patterns for a real model of backlight and we measured the brightness uniformity using the BM-7. From the brightness uniformity measurement, the BLU designed using the presented tool showed the tolerable performance only in the first try of pattern design rather than the fifth try of pattern design in case of the conventional pattern design.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2002.07b
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pp.817-820
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2002
Amorphous selenium based flat panel detectors convert incident x-ray to electric signal directly. Flat panel detectors gain more interest real time medical x-ray imaging. TFT array and electric readout circuits are used in this paper offered by LG.Philips.LCD. Detector is based on a $1536{\times}1280$ array of a-Si TFT pixels. X-ray conversion layer(a-Se) is deposited upper TFT array with a $400{\mu}m$ by thermal deposition technology. Thickness uniformity of this layer is made of thickness control system technology$({\leq}5%)$. Each $139{\mu}m{\times}139{\mu}m$ pixel is made of thin film transistor technology, a storage capacitor and collecting electrode having geometrical fill factor of 86%. This system show dynamic performance. Imaging performance is suited for digital radiography imaging substitute by conventional radiography film system.
Kim, Kyoung-Yul;Lee, Dae-Soo;Hong, Sung-Yun;Oh, Ki-Dae
Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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2006.03a
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pp.854-859
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2006
The density of coarse grained materials which is used in rock-fill dam or the piling the ground are used as $1.85\sim2.10g/cm^3$. Hereupon, the effect of variation of density on shear strength of ones was analyzed from the results of large scale shear test. The sample for the test was obtained from the local quarry sites. The test conditions are that density(1.85 versus $2.10g/cm^3$), material size range$(76.3\sim2.0\;mm)$, water content(air dry condition) and uniformity coefficient(5.0) Test result shows that the shear strength of $2.10g/cm^3$ is relatively larger than that of $1.85g/cm^3$.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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