As packaging processes for atomic gyroscope vapor cells, the glass tube tip-off process, anodic bonding, and paste sealing have been widely studied. However, there are stability issues in the alkali metal which are caused by impurity elements and leakage during high-temperature processes. In this study, we investigated the applicability of a vapor cell low-temperature packaging process by depositing Au on a Pyrex cell in addition to forming an Au-Sn thin film on a cap to cover the cell, followed by laser irradiation of the Au/Au-Sn interface. The mechanism of the thin film bonding was evaluated by XRD, while the packaging reliability of an Ne gas-filled vapor cell was characterized by variation of plasma discharge behavior with time. Furthermore, we confirmed that the Rb alkaline metal inside the vapor cell showed no color change, indicating no oxidation occurred during the process.
개인 휴대 통신 기기의 급속한 발달로 인해 부품의 소형화, 고집적화가 중요한 요소로 대두되고 있으며 이를 위해서는 모듈내부에 3차원적인 수동소자의 내장이 가능한 LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) 공정이 각광받고 있다. Embedded Capacitor를 제조하기 위해 유전율이 7.6과 6.5인 LTCC 재료를 이종접합 하여 제조하였으며 이종재료의 수축거동 차이에 의한 camber가 발생하였다. 이를 해결하고 또한 고주파 부품용 정밀회로 패턴을 구 현하기 위해 PLAS 방식의 Constrained Sintering 공정을 적용하여 camber 문제를 해결하였으며 capacitance 값이 두 이종재료의 유전율과 1:1로 비례하지 않았는데 이는 유전율 65 tape에 잔존하는 기공 때문으로 판단되며 미세구조로써 확인하였다.
This paper presents the effects of via losses to be connected with an embedded DPDT(Double Pole Double Thru) in a substrate. The substrate consists of two ABF(Ajinomoto Bonding Film) and a Epoxy core. In order to verify and test effects of via, via chains in a substrate using SoP-L process are proposed and measured. Via loss can be calculated as averaging the total via holes. The exact loss of a DPDT switch embedded in substrate are extracted by using the results of via chain and measured data from embedded DPDT. The calculated one via insertion loss is about 0.0005 dB on basis of measured via chains. This result confirms very low loss in via. So the inserti on loss of the embedded switch is confirmed only switch loss as loss is 0.4 dB.
Agar-based composite films were prepared with variety of food processing and agricultural processing waste materials in order to screen natural lingo-cellulosic resources for the value-added utilization of the under-utilized materials. The effect of these waste materials (10 wt% based on agar) on mechanical properties, moisture content (MC), water vapor permeability (WVP), water absorption behavior of biocomposite films were investigated. Biocomposite films prepared with various fibers resulted in significant increase or decrease in color and percent transmittance. The MC, WVP, and surface hydrophobicity of biocomposite films increased significantly by incorporation of fibers, while the water uptake ratio and solubility of the film decreased. SEM images of biocomposite film showed better adhesion between the fiber and agar polymer. Among the tested cellulosic waste materials, rice wine waste, onion and garlic fibers were promising for the value-added utilization as a reinforcing material for the preparation of biocomposite food packaging films.
Park, H.W.;Lee, D.J.;Son, Y. B.;Park, J.H.;Oh, M. H.;Ju, B. K.
한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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한국마이크로전자및패키징학회 2000년도 Proceedings of 5th International Joint Symposium on Microeletronics and Packaging
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pp.110-110
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2000
Cantilever-shaped lateral field emitters were fabricated and their electrical characteristics were tested. As shown in Fig.1, poly-silicon cantilevers were fabricated by the surface micromachining and they were used to the vacuum magnetic field sensors. The tunneling devices were vacuum sealed with the tubeless packaging method, as shown in Fig.2 and Fig.3. The soda-lime glasses were used for better encapsulation, so the sputtered silicon and the glass layers on the soda-lime glasses were bonded together at 1x10$^{-6}$ Torr. The getter was activated after the vacuum sealing fur the stable emissions. The devices were tested outside of the vacuum chamber. Through vacuum packaging, the tunneling sensors can be utilized. Fig.4 shows that the sensor operates with the switching of the magnetic field. When the magnetic field was applied to the device, the anode currents were varied by the Lorentz force. The difference of anode currents can be varied with the strength of the applied magnetic field.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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