마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구 (A Study on the Fabrication and Characteristics of ITO Thin Film Deposited by Magnetron Sputtering Method)
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- Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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- 제24권6호
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- pp.61-69
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- 2000