Sol-Gel법에 의한 비휘발성 메모리용 SrBi$_{2}Ta_{2}O_{9}$ 강유전체 박막의 제작
(Preparation of SrBi$_{2}Ta_{2}O_{9}$ Ferroelectric Thin Films for Non-Volatile Memory by Sol-Gel Method)
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- 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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- 한국마이크로전자및패키징학회 1999년도 추계 기술심포지움 논문집
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- pp.145-149
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- 1999