Electrical Properties of PZT/Interlayers Thin Film with Heat Treatment of Bottom Electrode for Nonvolatile Ferroelectric Memory Application

비휘발성 메모리 응용을 위한 PZT/Interlayers 박막의 하부전극 열처리 조건에 따른 전기적 특성

  • 박철호 (부산대학교 무기재료 공학과) ;
  • 윤지언 (부산대학교 무기재료 공학과) ;
  • 신기철 (부산대학교 무기재료 공학과) ;
  • 고태호 (부산대학교 무기재료 공학과) ;
  • 손영국 (부산대학교 무기재료 공학과)
  • Published : 2003.10.17