• 제목/요약/키워드: clean environment

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질산 제거 및 재이용 기술 (Nitrate Removal and Recycling Technique)

  • 이경희;심상준;최광진;김영대;우경자;조영상;최의소
    • 청정기술
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    • 제3권2호
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    • pp.87-93
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    • 1997
  • 본 실험은 알루미나 시멘트와 산화칼슘을 이용해 염기성 조건에서 질산염을 침전시킴으로써 오염수를 처리하는 공정에 관한 것이다. 시중에 시판되고 있는 알루미나 시멘트 중 알루미나 함량이 낮은 시멘트가 높은 질산염 제거를 보였다. 알루미늄과 칼슘의 성분비는 침전반응에 가장 중요한 요소임을 알 수 있었다. 고농도의 질산염 폐수의 처리를 위해 다단계의 침전반응이 효과적이었다. 질산염 뿐만 아니라 황산, 인산 및 염소의 제거에도 침전반응에 의한 제거가 가능하였다. 반응 후에 탄산나트륨의 첨가와 산을 이용한 중화를 포함한 후처리로 처리수내에 용출된 알루미늄과 칼슘의 제거가 가능하였다.

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반도체 PR 공정의 클린룸내 CFD 기반 화재 사고 영향 분석 (CFD-based Fire Accident Impact Analysis in Clean Room for semiconductor PR Process)

  • 천광수;이진석;박명남
    • 한국가스학회지
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    • 제25권6호
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    • pp.35-44
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    • 2021
  • 반도체 공정 중 PR (Photo Resist) 공정은 여러 인화성 물질을 혼합하여 사용하는 공정으로, 공정 장비가 Clean Room 내 설치되어 인화성 물질이 누출되는 경우 질식, 화재, 폭발 사고로 이어질 위험성이 크므로, 물질 누출시 발생할 수 있는 사고에 대한 영향을 분석하고, 작업자들의 안전을 보장할 수 있는지 평가하는 것이 필요하다. 본 연구는 FLACS CFD - Fire Module을 이용하여 10개의 누출, 화재 시나리오에 대한 CFD Simulation을 통해 Clean Room 내부 가상으로 설정한 Monitor Point에서의 복사열 및 온도 변화 값을 확인하였다. Clean Room 내부에서 발생한 화재는 층간 구조물에 높은 복사열을 전달하지만, 그 범위가 상당히 제한적이며, 단일 화재 사고로 인해 붕괴될 가능성이 희박하다. 화재 사고로 인해 탈출구로 이어지는 2 곳의 계단이 동시에 높은 복사열에 노출되는 시나리오는 없어, 화재 발생시 작업자가 탈출 가능하였다. 또한 복사열 및 온도 상승의 수준은 아래층으로 이동하면서 급격하게 낮아지는 것을 확인하였으며, API 520의 기준에 따라 작업자가 30초 동안 버틸 수 있는 복사열인 6.31 kW/m2에 노출된 작업자도 화재가 발생한 Clean Room 내부에서 충분히 탈출할 수 있음을 확인하였다.

Oil shale의 열분해 특성 연구 (Pyrolysis Characteristics of Oil Shale)

  • 노선아;윤진한;길상인;이정규;김한석
    • 청정기술
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    • 제24권4호
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    • pp.365-370
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    • 2018
  • Oil shale은 kerogen을 함유한 퇴적암으로 대표적인 비재래 에너지자원으로 알려져 있다. 열분해 공정을 통하여 oil shale이 분해되면 oil, gas 및 coke를 생성하게 된다. 본 연구에서는 oil shale의 청정 전환기술을 개발하기 위하여 oil shale의 TGA 및 연속 열분해 연구를 수행하였다. Oil shale의 열분해 전환율에 대한 반응 온도 및 체류시간의 영향을 살펴보고 oil의 생성율을 살펴보았다. Oil shale의 열분해 전환율은 온도와 체류시간에 따라 증가하였으며 $450{\sim}500^{\circ}C$, 체류시간 30 min의 조건에서 최대 oil 생산 수율을 나타내었다.

비접촉형 마그넷기어를 적용한 클린 반송장치의 개발 (Development of Non-Contact Conveyor for Clean Process by Applying Magnet Gears)

  • 오영진;노태정
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제11권10호
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    • pp.3633-3640
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    • 2010
  • 헬리컬형으로 자화된 영구자석을 이용한 비접촉 마그넷 기어를 개발하기 위하여 3차원 FEM 해석 기법을 활용하였고 마그넷 기어의 자기적 특성 해석 및 설계 요소기술을 확보하였다. 마그넷 기어를 이용한 클린 반송 컨베이어 및 회전장치의 성능평가를 위하여 class 10의 클린부스 환경에서 시험운전을 거쳐, 이송 속도, 최대 허용 토크, 클린도, 최대 이송 중량, 헌팅 유무, 소음도 등을 측정한 결과 클린도 class 10의 공정까지도 대응이 가능한 것으로 확인되었다.

Electrolyzed water cleaning for semiconductor manufacturing

  • Ryoo, Kun-Kul;Kim, Woo-Huk
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2002년도 추계학술대회 발표 논문집
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    • pp.117-119
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    • 2002
  • A semiconductor cleaning technology has been based upon RCA cleaning which consumes vast amounts of chemicals and ultra pure water. This technology hence gives rise to many environmental issues, and some alternatives such as electrolyzed water are being studied. In this work, intentionally contaminated Si wafers were cleaned using the electrolyzed water. The electrolyzed waters were obtained in anode and cathode with oxidation reduction potentials and pH of -1050mV and 4.8, and -750mV and 10.0, respectively. The electrolyzed water deterioration was correlated with $CO_2$ concentration changes dissolved from air. Overflowing of electrolyzed water during cleaning particles resulted in the same cleanness as could be obtained with RCA clean. The roughness of patterned wafer surfaces after EW clean maintained that of as-received wafers. RCA clean consumed about $9\ell$ chemicals, while electrolyzed water clean did only $400m\ell$ HCl or $600m\ell$ $NH_4$Cl to clean 8" wafers in this study. It was hence concluded that electrolyzed water cleaning technology would be very effective for releasing environment, safety, and health(ESH) issues in the next generation semiconductor manufacturing.ring.

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고출력 SOEC 시스템의 매개변수 연구 (Parametric Study on High Power SOEC System)

  • 뚜안앵;김영상;잡반티엔;이동근;안국영
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제32권6호
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    • pp.470-476
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    • 2021
  • In the near future, with the urgent requirement of environmental protection, hydrogen based energy system is essential. However, at the present time, most of the hydrogen is produced by reforming, which still produces carbon dioxide. This study proposes a high-power electrolytic hydrogen production system based on solid oxide electrolysis cell with no harmful emissions to the environment. Besides that, the parametric study and optimization are also carried to examine the effect of individual parameter and their combination on system efficiency. The result shows that the increase in steam conversion rate and hydrogen molar fraction in incoming stream reduces system efficiency because of the fuel heater power increase. Besides, the higher Faraday efficiency does not always result a higher system efficiency.

World Clean Air Congress 참관기

  • 이용근
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 1986년도 정기총회 및 제3회 학술연구발표회 요지집
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    • pp.14-38
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    • 1986

국내 미래청정기술 개발을 위한 전략 (Strategy for the Development of Innovative Clean Technology in Korea)

  • 김영대;심상준;이중기;최광진;박태준;조영상
    • 청정기술
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    • 제3권1호
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    • pp.9-26
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    • 1997
  • 공해 유발형 산업기술/제품의 폐기 요구 점증, 배출된 오염 물질 제거를 위한 후처리기술(EOP 기술) 활용의 한계, Green Round에 의한 국제 무역 규제 및 환경 부담금 문제 가시화(PPMs 규제) 및 지속 가능한 환경조화형 산업기술 확보(Sustainable Development)요구 등에 능동적 대처를 위해 산업활동에서의 환경오염 발생을 원천 억제 또는 제거하는 미래형 청정기술개발에 대한 요구가 급증하고 있다. 미래청정기술은 산업활동에서의 환경오염 발생을 원천 억제 또는 제거하는 미래형 환경오염 방지 기술로 정의될 수 있다. 선진국에 비해 청정기술 개발이 늦은 국내 현실에서 청정기술의 예속화를 피하고 기술 자립을 위해서는 원천 기술의 확보가 필수 불가결하며, 이의 달성을 위한 효과적인 청정기술의 개발 전략이 요구된다. 현재 국내 외에서 진행 중인 연구개발 프로그램을 비교 분석하고, 원천 기술인 미래형 청정기술의 성격을 규명한 뒤 효과적인 연구 수행을 위한 전략을 소개한다.

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콜리형 세균 Plasmid의 영양단계 지표 활용에 관한 연구 (Application of Coliform Bacterial Plasmid as a Trophic Indicator)

  • Cho, Hong Bum
    • The Korean Journal of Ecology
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    • 제11권1호
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    • pp.29-36
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    • 1988
  • This present study has been carried out to examine the correlation between the distribution of the coliform bacterial plasmids and the viability test against heavy metals in the upper stream of Han river(Gapyung; clean water) and the its basin (Anyang Cheon; polluted water). And the distribution of plasmids were examined to be used as trophic indicator for analysis between the clean and polluted waters. 1. A total of 110 isolates were analyzed for the presence of plasmids by means of the boiling method and agarose gel techniques. Plasmids were significantly more frequent in the strains which had been isolated from the clean water (14.3%). Also, there were much higher multiplicity of plasmids at the polluted water(41.0%), compared with the clean water (33.0%). By the comparision between molecular weight of bacterial plasmids in the clean water and those of polluted water, there were no significant differences of the clean water from the polluted water, to such extent as 30.0%, 28.6%, respectively, in frequency for occurrence of high molecular weight plasmids iver 35.8% Mdal. 2. Each isolate was carried out the resistance test for mercury(10-5M), nickel(10-3M) and arsenic (0.1%). At the polluted site, the survival ability of the plasmid-carrying straings(Hg, 31.0%l Ni, 5.7%; As, 65.7%) was higher than that of the non plasmid-carrying strains(Hg, 12.1%; Ni, 3.0%; As, 54.6%). This trend was more remarkable in the clean site (plasmid-carrying strains: 16.7%,-,-). As a result it is suggested that plasmids could be used as an indicator of a certain types of water pollution. In addition, heavy metals might have inflyenced, some extent, to the distribution of plasmids in the environment which has been surveyed in the present study.

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