$N_2O$ 가스에서 형성된 oxynitride막의 전기적 특성
(Electricial properties of oxynitride films prepared by furnace oxidation in $N_2O$ )
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1992년도 추계학술대회 논문집
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- pp.90-93
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- 1992