This research was carried out experiments of variety IGBTs for industrial inverter and electric vehicle. The devices for this paper were planar gate IGBT, trench gate IGBT and dual gate IGBT and we designed using same design and process parameters. As a result of experiments, the electrical characteristics of planar gate IGBT were 1,459 V of breakdown voltage, 4.04 V of threshold voltage and 4.7 V of on-state voltage drop. And the electrical characteristics of trench gate IGBT were 1,473 V of breakdown voltage, 4.11 V of threshold voltage and 3.17 V of on-state voltage drop. Lastly, the electrical characteristics of dual gate IGBT were 1,467 V of breakdown voltage, 4.14 V of threshold voltage and 3.08V of on-state voltage drop. We almost knew that the trench gate IGBT was superior to dual gate IGBT in terms of breakdown voltage. On the other hand, the dual gate IGBT was better than the trench gate IGBT in terms of on state voltage drop.
The conventional IGBT has two problems to make the device taking high performance. The one is high on state voltage drop associated with JFET region, the other is low breakdown voltage associated with concentrating the electric field on the junction of between p base and n drift. This paper is about the structure to effectively improve both the lower on state voltage drop and the higher breakdown voltage than the conventional IGBT. For the fabrication of the circular trench IGBT with the circular trench layer, it is necessary to perform the only one wet oxidation step for the circular trench layer. Analysis on both the on state voltage drop and the Breakdown voltage show the improved values compared to the conventional IGBT structure. Because the circular trench layer disperses electric field from p base and n drift junction to circular trench, the breakdown voltage increase. The on state voltage drop decrease due to reduction of JFET region and direction change of current path which pass through reversed layer channel.
The conventional IGBT has two problems to make the device taking high performance. The one is high on state voltage drop associated with JFET region, the other is low breakdown voltage associated with concentrating the electric field on the junction of between p base and n drift. This paper is about the structure to effectively improve both the lower on state voltage drop and the higher breakdown voltage than the conventional IGBT. For the fabrication of the circular trench IGBT with the circular trench layer, it is necessary to perform the only one wet oxidation step for the circular trench layer. Analysis on both the on state voltage drop and the breakdown voltage show the improved values compared to the conventional IGBT structure. Because the circular trench layer disperses electric field from the junction of between p base and n drift to circular trench, the breakdown voltage increase. The on state voltage drop decrease due to reduction of JFET region and direction changed of current path which pass through reversed layer channel. The electrical characteristics were studied by MEDICI simulation results.
Various power semiconductor devices have been developed and evolved since 1950s. Among them, IGBT is the most developed power semiconductor device which has high breakdown voltage, high current conduction and suitable switching speed which perform trade-offs between each other. In other words, there are trade-offs between a breakdown voltage and on-state voltage drop, and between on-state voltage drop and turn-off time. In this paper, the new structure is proposed to improve a trade-off between a breakdown voltage and on-state voltage drop. The proposed structure has a trench collector and this trench collector induces an accumulation layer at the bottom of an n-drift region during off-state. And this accumulation layer prevents expansion of depletion layer so that trapezoidal electric field distribution is performed in the n-drift region. As a result of this, breakdown voltage is increased without increasing on-state voltage drop. The electrical characteristics of the proposed IGBT is analyzed and optimized by using representative device simulator, TSUPREM4 and MEDICI. After optimization, the electrical characteristics of the proposed IGBT is compared with NPT IGBT which have the same device thickness. As a result of this, it can be confirmed that the proposed structure increases the breakdown voltage of 800 V than that of the conventional NPT IGBT without increasing the on-state voltage drop.
Insulated Gate Bipolar Transistor(IGBTs) are widely used in power device industry. However, to improve the breakdown voltage, IGBTs are suffered from increasing on-state voltage drop due to structural design. In this paper, the new structure is proposed to solve this problem. The proposed structure has double p-floating layer inserted in n-drift layer. The p-floating layers improve the breakdown voltage compared to conventional IGBT without change of other electrical characteristics such as on-state voltage drop and threshold voltage. this is because the p-floating layers expand electric field distribution at blocking state. A electrical characteristic of proposed structure is analyzed by using simulators such as TSUPREM and MEDICI. As a result, on-state voltage drop and threshold voltage are same to a conventional TIGBT, but breakdown voltage is improved to 16%.
This paper describes the analysis of the device characteristics of the NPT type 1200V Insulated gate Bipolar Transistor. In case of NPT type IGBT devices, optimized n-epi layer thickness and concentration is important to obtain low on-state voltage and breakdown voltage characteristics. In this paper, we analyzed on-state and off-state characteristics of NPT type IGBT. Breakdown voltage of designed IGBT was higher than 1200V when we optimized Field Limiting Ring structures. And also, on-state voltage characteristics was shown less then 2.5V at 25A of drain current.
Here we present detailed simulation results of trench field stop IGBTs. Besides the reduced on-state voltage drop there is also an Increase of forward blocking voltage. A trench gate IGBT has low on-state voltage drop mainly due to the removal of the JFET region and a field stop IGBT has high forward blocking voltages due to the trapezoidal field distribution under blocking condition. We have simulated the static characteristics of TIGBT with field stop technology by 2D simulator(MEDICI). The simulated result of forward blocking voltage and on-state voltage drop is about 1,408V and 1.3V respectively at $110{\mu}m$ N-drift thickness.
A power semiconductor device, usually used as a switch or rectifier, is very significant in the modern power industry. The power semiconductor, in terms of its physical properties, requires a high breakdown voltage to turn off, a low on-state resistance to reduce static loss, and a fast switching speed to reduce dynamic loss. Among those parameters, the breakdown voltage and on-state resistance rely on the doping concentration of the drift region in the power semiconductor, this effect can be more important for a higher voltage device. Although the low doping concentration in the drift region increases the breakdown voltage, the on-state resistance that is increased along with it makes the static loss characteristic deteriorate. On the other hand, although the high doping concentration in the drift region reduces on-state resistance, the breakdown voltage is decreased, which limits the scope of its applications. This addresses the fact that breakdown voltage and on-state resistance are in a trade-off relationship with a parameter of the doping concentration in the drift region. Such a trade-off relationship is a hindrance to the development of power semiconductor devices that have idealistic characteristics. In this study, a novel structure is proposed for the Insulated Gate Bipolar Transistor (IGBT) device that uses conductivity modulation, which makes it possible to increase the breakdown voltage without changing the on-state resistance through use of a P-floating layer. More specifically in the proposed IGBT structure, a P-floating layer was inserted into the drift region, which results in an alleviation of the trade-off relationship between the on-state resistance and the breakdown voltage. The increase of breakdown voltage in the proposed IGBT structure has been analyzed both theoretically and through simulations, and it is verified through measurement of actual samples.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제12권1호
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pp.99-106
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2012
For CMOS technology of 65 nm and beyond, the gate leakage current can not be negligible anymore. In this paper, the impact of the gate leakage current in ring voltage-controlled oscillator (VCO) on phase-locked loop (PLL) is analyzed and modeled. A voltage -to-voltage (V-to-V) circuit is proposed to reduce the voltage ripple on $V_{ctrl}$ induced by the gate leakage current. The side effects induced by the V-to-V circuit are described and optimized either. The PLL design is based on a standard 65 nm CMOS technology with a 1.8 V power supply. Simulation results show that 97 % ripple voltage is smoothed at 216 MHz output frequency. The RMS and peak-to-peak jitter are 3 ps and 14.8 ps, respectively.
A phase shift algorithm based on the closed-loop control of dc-link voltage implemented on a series active voltage quality regulator (AVQR) is proposed in this paper. To avoid pumping-up the dc-link voltage, a general phase shift compensation strategy is applied. The relationships among the operation variables are discussed in detail, which is very important for guiding the design of both the main circuit and the control system. Then on the basis of an investigation of the dc-link voltage pumping-up from viewpoint of the active power flow, a novel phase shift control method based on the closed-loop of the dc-link voltage is proposed. This method can adjust the phase of the output voltage gradually and automatically according to the dc-link voltage variation without introducing a phase jump. The effectiveness of the proposed strategy is verified through simulations of a single-phase 5kVA prototype and laboratory experiments on both a single-phase 5kVA and a three-phase 15kVA prototype.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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