Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.27
no.4
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pp.25-37
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2020
In this study, hybridization of graphene oxide and metal was carried out by the functional groups containing oxygen and thermal treatment for reduction in order to enhance the electrical conductivity and magnetic properties of graphene materials. Graphene-metal hybrid materials were synthesized using the oxygen-containing functional groups (-OH, -COOH and so on) on the surface of graphene oxide by replacing them with metal ions via ion exchange method as well as thermal reduction. The metals used in this study were Fe, Ag, Ni, Zn, and Fe/Ag, and it was confirmed that metal particles of uniform size were well dispersed on the graphene surface through SEM, TEM, and EDS. All of the metal particles on the graphene surface had an oxide-crystalline structure. To check the electrical properties, sheet resistance of the rGO-metal hybrid sample was measured on the PET film made by the dip-coating, and the specific resistance was calculated by measuring the thickness of the specimen through SEM. As a result, the specific resistance was in the range of 2.14×10-5 and 3.5×10-3 ohm/cm.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.18
no.3
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pp.276-283
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2005
Magnetic tunneling transistor (MTT) device using the amorphous n-type Si semiconductor film for base and collector consisting of the [CoFe/NiFe](free layer) and Si(top layer) multilayers was used to study the spin-dependent hot electron magnetocurrent (MC) and tunneling magnetoresistance (TMR) at room temperature. A large MC of 40.2 % was observed at the emitter-base bias voltage ( $V_{EB}$ ) of 0.62 V. The increasing emitter hot current and transfer ratio ( $I_{C}$/ $I_{E}$) as $V_{EB}$ are mainly due to a rapid increase of the number of conduction band states in the Si collector. However, above the $V_{EB}$ of 0.62 V, the rapid decrease of MC was observed in amorphous Si-based MTT because of hot electron spin-dependent elastic scattering across CoFe/Si interfaces.
Kim, Dong-Hun;Doh, Chil-Hoon;Lee, Jeong-Hoon;Lee, Duck-Jun;Ha, Kyeong-Hwa;Jin, Bong-Soo;Kim, Hyun-Soo;Moon, Seong-In;Hwang, Young-Ki
Journal of the Korean Electrochemical Society
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v.11
no.4
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pp.284-288
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2008
Sn-thin film as high capacitive anode for thin film lithium-ion battery was prepared by organic-electrolyte electroplating using Sn(II) acetate. Electrolytic solution including $Li^+$ and $Sn^{2+}$ had 3 reduction peaks at cyclic voltammogram. Current peak at $2.0{\sim}2.5\;V$ region correspond to the electroplating of Sn on Ni substrate. This potential value is lower than 2.91 V vs. $Li^+/Li^{\circ}$, of the standard reduction potential of $Sn^{2+}$ under aqueous media. It is the result of high overpotential caused by high resistive organic electrolytic solution and low $Sn^{2+}$ concentration. Physical and electrochemical properties were evaluated using by XRD, FE-SEM, cyclic voltammogram and galvanostatic charge-discharge test. Crystallinity of electroplated Sn-anode on a Ni substrate could be increased through heat treatment at $150^{\circ}C$ for 2 h. Cyclic voltammogram shows reversible electrochemical reaction of reduction(alloying) and oxidation(de-alloying) at 0.25 V and 0.75 V, respectively. Thickness of Sn-thin film, which was calculated based on electrochemical capacity, was $7.35{\mu}m$. And reversible capacity of this cell was $400{\mu}Ah/cm^2$.
We investigated the characteristics of electroless plated Cu films on screen printed Ag/Anodized Al substrate. Cu plating was attempted using neutral electroless plating processes to minimize damage of the anodized Al substrate; this method used sodium hypophosphite instead of formaldehyde as a reducing agent. The basic electroless solution consisted of $CuSO_4{\cdot}5H_2O$ as the main metal source, $NaH_2PO_2{\cdot}H_2O$ as the reducing agent, $C_6H_5Na_3O_7{\cdot}2H_2O$ and $NH_4Cl$ as the complex agents, and $NiSO_4{\cdot}6H_2O$ as the catalyser for the oxidation of the reducing agent, dissolved in deionized water. The pH of the Cu plating solutions was adjusted using $NH_4OH$. According to the variation of pH in the range of 6.5~8, the electroless plated Cu films were coated on screen printed Ag pattern/anodized Al/Al at $70^{\circ}C$. We investigated the surface morphology change of the Cu films using FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscopy). The chemical composition of the Cu film was determined using XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy). The crystal structures of the Cu films were investigated using XRD (X-ray Diffraction). Using electroless plating at pH 7, the structures of the plated Cu-rich films were typical fcc-Cu; however, a slight Ni component was co-deposited. Finally, we found that the formation of Cu film plated selectively on PCB without any lithography is possible using a neutral electroless plating process.
Quantifying the trace elements in infinitesimal ambient liquid samples (e.g., single raindrop, cloud/fog water, and the soluble fraction extracted from the particles collected for a short time) is an important task for understanding formation processes, heating/cooling rates, and their health hazards. The purpose of this study is to employ an in-air micro PIXE system for quantitative analysis of the trace elements in a thimbleful of reference liquid sample. The bag type liquid sample holder originally designed with $10{\mu}m$ thick $Mylar^{(R)}$ film retained the original shape without any film perforation and apparent peaks of film blank by the end of the analysis. As one of tasks to be solved, the homogeneity of the elemental distribution in liquid reference species was verified by the X-ray line profiles for several references. It was possible to resolve the significant peaks for whole target elements corresponding to the channel number of micro-PIXE spectrum. The calibration curves for the six target elements (Si, S, Cl, Fe, Ni, and Zn) in standard solutions were successfully plotted by concentration (ppm) and ROI of interest net counts/dose (nC).
304 stainless steel plate was colored by hot dip and electrochemical treatment in a solution containing sulphuric and chromic acids. In the process, treatment variables such as operating time and methode were changed. The surface characteristics that changed by the treatment of the samples such as surface composition, oxide film thickness, color, surface roughness and reflectivity were studied. Surface composition was varied as follows. Fe was decreased, but Cr and O were increased. Ni was increased until 20 min, but reveals decreasing tendency as time passed after that. These means the surface film becomes chrome rich oxide phase as the treatment times increase. The thickness of film was about 220 nm at 30 min by dip treatment and it reduced as the treatment times increased. On the other hand, the thickness was about 150 nm at 10 min by electrochemical method and it doesn't increased with time. Surface color changed from metallic white of the base plate to gray, black, red, and green-blue, gradually, as the treating time increased. The reflectivity of colored surface measured by UVVIS-NIR spectrophotometer was reduced from max 38% of basis metal to min 3.5%.
CuSnZn electroplating was investigated as alternative to Ni plating. Evaluation of electrolyte and plating process was performed to control physical characteristics of the film, and to collect practical data for application. Hull-cell test was conducted for basic comparison of two commercialized products and developed product. Based on hull-cell test results, long term test of three electrolytes was performed. Various analysis on long term tested electrolyte and samples have been done. Reliable and practical data was collected using FE-SEM (FEI, Sirion), EDX (ThermoNoran SIX-200E), ICP Spectrometer (GBC Scientifi c, Integra XL), FIB (FEI, Nova600) for anlysis. Physical analysis and reliability test of the long term tested film were also carried out. Through this investigation plating time, plating speed, electrolyte composition, electrolyte metal consumption, hardness and corrosion resistance has been compared. This set of data is used to predict and control the chemical composition of the film and modify the physical characteristics of the CuSnZn alloy.
10 nm thick Ni layers were deposited on 200 nm $SiO_2/Si$ substrates using an e-beam evaporator. Then, 60 nm or 20 nm thick ${\alpha}$-Si:H layers were grown at low temperature (<$200^{\circ}C$) by a Catalytic-CVD. NiSi layers were already formed instantaneously during Cat-CVD process regardless of the thickness of the $\alpha$-Si. The resulting changes in sheet resistance, microstructure, phase, chemical composition, and surface roughness with the additional rapid thermal annealing up to $500^{\circ}C$ were examined using a four point probe, HRXRD, FE-SEM, TEM, AES, and SPM, respectively. The sheet resistance of the NiSi layer was 12${\Omega}$/□ regardless of the thickness of the ${\alpha}$-Si and kept stable even after the additional annealing process. The thickness of the NiSi layer was 30 nm with excellent uniformity and the surface roughness was maintained under 2 nm after the annealing. Accordingly, our result implies that the low temperature Cat-CVD process with proposed films stack sequence may have more advantages than the conventional CVD process for nano scale NiSi applications.
60 nm- and 20 nm-thick hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) layers were deposited on 200 nm $SiO_2/Si$ substrates using ICP-CVD (inductively coupled plasma chemical vapor deposition). A 10 nm-Ni layer was then deposited by e-beam evaporation. Finally, 10 nm-Ni/60 nm a-Si:H/200 nm-$SiO_2/Si$ and 10 nm-Ni/20 nm a-Si:H/200 nm-$SiO_2/Si$ structures were prepared. The samples were annealed by rapid thermal annealing for 40 seconds at $200{\sim}500^{\circ}C$ to produce $NiSi_x$. The resulting changes in sheet resistance, microstructure, phase, chemical composition and surface roughness were examined. The nickel silicide on a 60 nm a-Si:H substrate showed a low sheet resistance at T (temperatures) >$450^{\circ}C$. The nickel silicide on the 20 nm a-Si:H substrate showed a low sheet resistance at T > $300^{\circ}C$. HRXRD analysis revealed a phase transformation of the nickel silicide on a 60 nm a-Si:H substrate (${\delta}-Ni_2Si{\rightarrow}{\zeta}-Ni_2Si{\rightarrow}(NiSi+{\zeta}-Ni_2Si)$) at annealing temperatures of $300^{\circ}C{\rightarrow}400^{\circ}C{\rightarrow}500^{\circ}C$. The nickel silicide on the 20 nm a-Si:H substrate had a composition of ${\delta}-Ni_2Si$ with no secondary phases. Through FE-SEM and TEM analysis, the nickel silicide layer on the 60 nm a-Si:H substrate showed a 60 nm-thick silicide layer with a columnar shape, which contained both residual a-Si:H and $Ni_2Si$ layers, regardless of annealing temperatures. The nickel silicide on the 20 nm a-Si:H substrate had a uniform thickness of 40 nm with a columnar shape and no residual silicon. SPM analysis shows that the surface roughness was < 1.8 nm regardless of the a-Si:H-thickness. It was confirmed that the low temperature silicide process using a 20 nm a-Si:H substrate is more suitable for thin film transistor (TFT) active layer applications.
In this paper, the magnetic properties and the annealing behavior of spin valve structures with Mo(MoN) underlayers were studied for various underlayer thickness. The spin valve structure was Si substrate/Mo(MoN)$(t{\AA})/NiFe(21{\AA})/CoFe(28{\AA})/Cu(22{\AA})/CoFe(18{\AA})/IrMn(65{\AA})/Ta(25 {\AA})$. Mo and MoN films were deposited on Si substrates and their thermal annealing behavior was analyzed. The deposition rate of the MoN thin film was decreased and tile resistivity of the MoN thin films were increased as the $N_2$ gas flow was increased. The variations of MR ratio and magnetic exchange coupling field of spin valve structure were smaller with MoN underlayers than that with Mo underlayers up to thickness of $51{\AA}$. MR ratio of spin valves with Mo underlayers was 2.86% at room temperature and increased up to 2.91 % after annealing at $200^{\circ}C$. Upon annealing at $300^{\circ}C$, the MR ratio decreased about 2.16%. The MR ratio of spin valves structure with MoN underlayers for $N_2$ gas flow 1 sccm was 5.27% at room temperature and increased up to 5.56% after annealing at $200^{\circ}C$. Upon annealing at $300^{\circ}C$, the MR ratio decreased about 4.9%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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