• 제목/요약/키워드: Microcolumn

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저 에너지 초소형 전자칼럼 리소그래피를 이용한 SiO2 박막의 Pattern 제작에 관한 연구 (Study of SiO2 Thin Film Patterning by Low Energy Electron Beam Lithography Using Microcolumns)

  • 요시모토 다카토시;김호섭;김대욱;안승준
    • 한국자기학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.178-181
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    • 2007
  • 반도체의 고 집적회로를 형성하기 위하여 주로 이용하고 있는 광 리소그래피 기술을 대신하여 사용할 수 있는 차세대 리소그래피 기술로 전자빔 리소그래피 기술에 대한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 초소형 전자칼럼을 이용하여 전자빔 에너지와 조사농도에 따른 pattern 두께의 의존성을 조사하였으며 두께가 100nm인 $SiO_2$ 박막의 patterning을 통하여 $SiO_2$ 박막에 대한 저 에너지 전자빔 리소그래피 공정의 가능성을 입증하였다.

TFT-LCD용 TFT기판에서 저에너지 전자빔을 이용한 전기적 결함 검출 메카니즘 분석 (Analysis of the Electrical Defect Detection Mechanism using a Low Energy Electron Beam on the TFT Substrate for TFT-LCDs)

  • 오태식;김호섭;김대욱;안승준;이건희
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제12권4호
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    • pp.1803-1811
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    • 2011
  • TFT-LCD용 TFT기판 상에서 저에너지 마이크로 컬럼을 이용하는 전기적인 결함 검출 메카니즘을 분석하였다. 본 연구에서는 고진공 챔버 내에서 7인치 TFT 기판에 저에너지 전자빔을 주사하여 여러 가지 불량 화소에 대한 SEM 이미지를 획득하였다. 더불어 각각의 불량 화소에서 나타나는 현상과 전기적인 거동과의 연관성을 분석하여 검출 메카니즘을 해석하였다. 그 결과로서 저에너지 초소형 전자 컬럼을 이용하는 저에너지 전자빔에 의한 SEM 이미지는 전자간 반발효과에 크게 영향을 받는 일관성 있는 결과를 확인하였다.

ABO 동종 응집소 역가 측정을 위한 시험관 및 미세원주응집법의 평가 (Evaluation of ABO Antibody Titration Using Tube and Column Agglutination Techniques)

  • 조치현;김하늬;윤승규;최계령;최재열;김장수;임채승;김영기;이갑노
    • Laboratory Medicine Online
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    • 제1권1호
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    • pp.57-63
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    • 2011
  • 배경: ABO 혈액형의 동종응집소 역가는 ABO 부적합 골수이식 또는 장기 이식에서의 경과 관찰 및 치료평가 등에 도움을 주나, 미세원주응집법이나 시험관법 등 검사법에 따라 영향을 받을 수 있다. 저자들은 시험관응집법과 미세원주응집법을 이용한 동종응집소 역가의 분포를 비교 평가하였다. 방법: 2010년 4월부터 8월까지 4개월간 고려대 구로병원에서 검진을 받은 20세 이상의 건강한 성인 중 O형 환자 23명, A형 환자 20명, B형 환자 20명을 대상으로 실온식염수 시험관응집법, 미세원주응집법, 항글로불린 시험관응집법과 항글로불린 미세원주응집법의 네 가지 방법을 동시에 시행하였다. 결과: 시험관 응집법, 미세원주응집법, 항글로불린 시험관응집법, 항글로불린 미세원주응집법 네 가지 방법으로 측정한 O형 환자들의 동종응집소 역가의 중앙값은 각각 항-A는 64 (8-512), 64 (8-512), 128 (8-2,048)과 128 (16-2,048)이고, 항-B는 64 (16-128), 128 (16-256), 128 (16-512)과 256 (16-512)였다. 동일한 네 가지 방법으로 측정한 A형 환자들의 항-B 동종응집소 역가의 중앙값은 각각 64 (8-128), 64 (8-128), 32 (8-128), 64 (8-256), B형 환자들의 항-A 동종응집소 역가의 중앙값은 각각 64 (16-128), 128 (8-128), 128 (8-256), 256 (8-256)였다. 네 가지 동종응집소 측정 모두에서 항글로불린 미세원주응집법이 가장 높은 역가를 보였다. 미세원주응집법에 의한 역가는 실온식염수 시험관응집법에 의한 역가와 같거나 한 단위 역가만큼 더 높았다. 항글로불린 미세원주응집법으로 측정한 역가는 항글로불린 시험관응집법으로 측정한 역가와 같거나 한 단위 역가만큼 더 높았다. 네 가지 방법에 의한 동종응집소 역가의 기하평균은 O형 환자의 항-A, 항-B, A형 환자의 항-B 및 B형 환자의 항-A 모두 남자보다 여자가 더 높은 값을 보였다. 결론: 항글로불린 미세원주응집법이 네 가지 방법 중 가장 민감한 방법이었다. 항글로불린을 첨가한 동종응집소 역가 측정이 장기 이식 등의 임상 판단에 중요하며 시험관응집법에 비해 미세원주응집법에 수기 과정이 간편함을 고려할 때 항글로불린 미세원주 응집법을 사용하여 기관 간 변이를 측정한다면 동종응집소 역가 표준화에 기여하리라 사료된다.

마이크로컬럼 어레이에 적용 가능한 웨이퍼단위의 수직 배선 방법 (Wafer level vertical interconnection method for microcolumn array)

  • 한창호;김현철;강문구;전국진
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2005년도 추계종합학술대회
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    • pp.793-796
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    • 2005
  • In this paper, we propose a method which can improve uniformity of a miniaturized electron beam array for inspection of very small pattern with high speed using vertical interconnection. This method enables the individual control of columns so that it can reduce the deviation of beam current, beam size, scan range and so on. The test device that used vertical interconnection method was fabricated by multiple wafer bonding and metal reflow. Two silicon and one glass wafers were bonded and metal interconnection by melting of electroplated AuSn was performed. The contact resistance was under $10{\Omega}$.

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LC-MS/MS-based Proteomic Analysis to Identify Protein Phosphorylation in Emiliania huxleyi

  • Duong, Van-An;Nam, Onyou;Jin, EonSeon;Seo, Jae-Min;Park, Jong-Moon;Lee, Hookeun
    • Mass Spectrometry Letters
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    • 제12권4호
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    • pp.163-171
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    • 2021
  • Emiliania huxleyi is a marine phytoplankton that plays a critical role in global carbon and sulfur cycling. The genome of E. huxleyi has been sequenced, and an in-depth proteomic profile of this organism has been reported. This study analyzed the phosphoproteome of E. huxleyi and identified its changes under calcium-limited conditions. A TiO2 microcolumn was used for phosphopeptide enrichment, followed by liquid chromatography-tandem mass spectrometry analysis. Overall, we identified 7,010 phosphorylated sites on 3,355 phosphopeptides associated with 2,929 phosphoproteins in E. huxleyi. Quantitative analysis revealed changes in the phosphoproteome in E. huxleyi when ambient conditions changed to calcium-limited conditions, notably the phosphorylation of some transporters was altered. This study provides an overview of protein phosphorylation in E. huxleyi and paves the way for further investigations of its biological functions.

Narrowbore high-performance liquid chromatographic method for the determination of cetirizine in plasma using column switching

  • Hyun, Myung-Ja;Ban, Eunmi;Woo, Jong-Soo;Kim, Chong-Kook
    • 대한약학회:학술대회논문집
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    • 대한약학회 2002년도 Proceedings of the Convention of the Pharmaceutical Society of Korea Vol.2
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    • pp.398.2-398.2
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    • 2002
  • A column switching HPLC assay was developed to allow the separation and quantitation of cetirizine in human plasma by ultraviolet (UV) detection. Plasma samples were prepared by liquid-liquid extraction. After drying, the residue was reconstituted in 20 mM phosphate buffer (pH 2.8) containing 15% acetonitrile. The samples were initially injected onto a clean-up Capcell Pak MF C18 column. (50 mm $\times$ 4.6 mm I.D.), and the chromatographic region containing the peaks of interest was followed in an analytical C18 microcolumn (250 mm$\times$1.5 mm I. D.) via column switching device. (omitted)

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Determination of rebamipide in human plasma by column-switching high- performance liqiud chromatography.

  • Koung, Joung-Sun;Park, Chang-Hun;Kim, Ho-Hyun;Lee, Hee-Joo;Beom, Han-Sang
    • 대한약학회:학술대회논문집
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    • 대한약학회 2003년도 Proceedings of the Convention of the Pharmaceutical Society of Korea Vol.1
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    • pp.278.2-278.2
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    • 2003
  • A column-switching semi-micro HPLC method with fluorescence detection was developed for the direct analysis of rebamipide in human plasma. Plasma was filtered through a 0.45 $\mu\textrm{m}$ membrane filter and 5 ${\mu}\ell$ of the filtrate was directly injected onto the pre-column. After elution of the plasma proteins to waste, the retained rebamipide and internal standard(ofloxacin) were transferred to a C18 semi-microcolumn (5$\mu\textrm{m}$, 150 ${\times}$2.0mm) where they were separated using acetonitrile-1.4% acetic acid (40:60, v/v) as mobile phase. (omitted)

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초소형 전자 칼럼 설계를 위한 전자 방출원 연구 (Studies of electron emitters for a miniaturized electron column design)

  • 김영철;김대욱;안승준;김호섭;장원권
    • 한국광학회지
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    • 제13권4호
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    • pp.314-318
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    • 2002
  • 저전압(~1 ㎸)에서 구동되어 수 ㎁의 전류를 얻을 수 있는 초소형 전자 칼럼(microcolumn) 설계를 위한 프로브(probe) 빔의 직경이 최소가 되는 전자 광학계의 조건을 조사하였다. 프로브 빔의 최소 직경은 전자 방출원의 특성에 의존하는데, 동일 조건의 광학계에 대하여 thermal field emitter(TFE)인 경우 ~20 ㎚인 반면 cold field emitter(CFE)인 경우 ~10 ㎚인 것으로 조사되었다.

초소형 자유전자레이저 모듈에 있어서 위글러 구조에 따른 전자빔 특성 연구 (Study on the Characteristics of Electron Beam Dependent with the Structure of Wiggler in the Miniaturized Free Electron Laser Module)

  • 김영철;안성준;김대욱;김호섭;안승준
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제12권3호
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    • pp.1319-1326
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    • 2011
  • 상업용 3-D simulation tool(OPERA)을 이용하여 슬릿형 위글러가 장착된 초소형 자유전자레이저 모듈에 있어서 위글러 구조에 따른 전자빔 특성을 조사하였다. 전자렌즈의 중앙 전극에 일정한 potential을 인가하여 전자빔이 평행빔이 되도록 divergence를 줄여서 위글러에 입사시켰으며 위글러의 구조 의존성에 따른 위글러 내부에서의 전기장과 potential 분포를 계산하여 위글러에서의 전자빔 궤적의 변화를 조사하였다.

저 전압 초소형 전자칼럼의 주사면적 크기 및 전류영상 특성 연구 (Characteristic Studies for Scan-Field Size and Visibility of Current Image in a Low Voltage Micro-Column)

  • 이치무라 노리유키;김영철;김호섭;장원권
    • 한국광학회지
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    • 제19권5호
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    • pp.365-369
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    • 2008
  • 정전기장 편향기를 사용하는 저전압 초소형 전자칼럼에서 전자빔 집속 적정조건에 대해 조사하였다. 일정한 전자 방출 팁 전압조건에서 소스렌즈를 이용하여 전자빔을 집속할 경우 아인젤 렌즈를 이용할 경우보다 주사면적은 컸으나 전류영상의 선명도는 낮게 측정되었다. 3차원 전산시늉 결과 소스렌즈를 사용하여 전자빔을 집속할 경우 전자빔의 초점크기와 편향이 아인젤 렌즈를 이용하여 집속할 경우보다 큰 것으로 조사되었다.