Korean Journal of Optics and Photonics (한국광학회지)

Optical Society of Korea (한국광학회)
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Characteristic Studies for Scan-Field Size and Visibility of Current Image in a Low Voltage Micro-Column

저 전압 초소형 전자칼럼의 주사면적 크기 및 전류영상 특성 연구

  • Noriyuki, Ichimura (Department of Physics and Advanced Materials Science, CNST, Sunmoon University) ;
  • Kim, Young-Chul (Department of Physics and Advanced Materials Science, CNST, Sunmoon University) ;
  • Kim, Ho-Seob (Department of Physics and Advanced Materials Science, CNST, Sunmoon University) ;
  • Jang, Won-Kweon (Department of Applied Physics, Hanseo University)
  • Published : 2008.10.25
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Abstract

The optimal condition for focusing an electron beam was investigated employing an electrostatic deflector in a low voltage micro-column. At fixed voltage of the electron emission tip, the focusing electron beam with source lens showed a larger scan field size and poorer visibility than those with an Einzel lens. Theoretical 3-D simulation indicated that a focusing electron beam with a source lens should have a larger spot size and deflection than those of a focusing Einzel lens.

정전기장 편향기를 사용하는 저전압 초소형 전자칼럼에서 전자빔 집속 적정조건에 대해 조사하였다. 일정한 전자 방출 팁 전압조건에서 소스렌즈를 이용하여 전자빔을 집속할 경우 아인젤 렌즈를 이용할 경우보다 주사면적은 컸으나 전류영상의 선명도는 낮게 측정되었다. 3차원 전산시늉 결과 소스렌즈를 사용하여 전자빔을 집속할 경우 전자빔의 초점크기와 편향이 아인젤 렌즈를 이용하여 집속할 경우보다 큰 것으로 조사되었다.

Keywords

References

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