A study on the growth of low temperature GaN buffer layer by remote pplasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition (원격 플라즈마 금속 유기 화학 기상 증착법에 의한 저온 GaN 완충막 성장에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 1996.06a
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- pp.32-33
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- 1996