Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
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- Pages.58-58
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- 2002
Characteristic of Pt electrode by Liquid Delivery Metalorganic Chemical Vapor Deposition using Pt(EtCp)))$Me_3$ for High Dielectrics
고유전체를 위해 Pt(EtCp)$Me_3$ 를 이용 액체 운반 화학 기상 증착법을 Pt전극의 특성 연구
Abstract
Keywords