Preparation of ferroelectric $SrBi_2Ta_2O_{9}$ thin films deposited by plasma-enhaned metalorganic chemical vapor deposition

플라즈마를 이용한 유기금속 화학증착법에 의한 강유전체 $SrBi_2Ta_2O_{9}$ 박막의 제조

  • 성낙진 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 윤순길 (충남대학교 공과대학 재료공학과)
  • Published : 1996.11.01