Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.23-23
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- 1997
Effect of Plasma on Growth Characteristics of Al Film by Metalorganic Chemical Vapor Deposition Using DMEAA
DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착에서 플라즈마가 증착특성에 미치는 영향
Abstract
Keywords