Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1996.06a
- /
- Pages.32-33
- /
- 1996
A study on the growth of low temperature GaN buffer layer by remote pplasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition
원격 플라즈마 금속 유기 화학 기상 증착법에 의한 저온 GaN 완충막 성장에 관한 연구
Abstract
Keywords