XPS chamber 내 in-situ 열처리에 의한 $SiO_2$ /TiW system의 계면반응 연구
(An XPS analysis on the interfacial reaction for $SiO_2$ /TiW system after in-situ heat treatment)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1994년도 춘계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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- pp.123-123
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- 1994