Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

in-situ XPS Characterization of cubic Boron Nitride Thin Films Grown by Dual Ion Beam Sputter Deposition

  • 박기선 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 이덕열 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 김경중 (한국표준과학연구원 소재특성평가부 표면분석그룹) ;
  • 문대원 (한국표준과학연구원 소재특성평가부 표면분석그룹)
  • Published : 1996.06.01
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Abstract

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