Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1994.05a
/
Pages.123-123
/
1994

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

An XPS analysis on the interfacial reaction for $SiO_2$/TiW system after in-situ heat treatment

XPS chamber 내 in-situ 열처리에 의한 $SiO_2$/TiW system의 계면반응 연구

박형호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
김경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
이재성 (경북대학교 전자공학과) ;
이용현 (경북대학교 전자공학과)

Published : 1994.05.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords