Effects of Chemical Vapor Deposition Conditions on the Deposition for the Functionally Gradient Materials of the SiC/C system : I. Study on the SiC/C Depostion

화학기상증착조건이 SiC/C계 FGM증착에 미치는 영향 : I. SiC/C 증착에 관한 연구

  • 강병윤 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 김유택 (경기대학교 재료공학과) ;
  • 오근호 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 이응상 (한양대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1994.05.01