본 논문에서는 전력 증폭기의 선형화를 위해 제안된 feed-forward 선형화 방식을 IMT-2000용 송신 시스템에 적용한 새로운 송신 시스템 구조를 제안한다. 이 시스템에서 feed-forward 구조는 왜곡 성분을 비교하고 제거하기 위해 보조신호(reference signal)을 필요로 하는데, 이 보조신호는 무시할 정도로 낮은 왜곡을 갖도록 낮은 입력 동작 범위에서 동작하는 두 번째 변조기에서 만들어 진다. 이런 구조로 한 결과송신 시스템에서 증폭기뿐만 아니라 변조기의 왜곡을 줄일 수 있다는 큰 장점이 있다. 본 논문의 시스템은 Agilent 社의 EEsoft ADS ver.2002를 사용하여 설계하였으며, 입력은 1.98GHz 주파수 대역에서 2MHz의 주파수 간격을 갖는 2-tone으로 하였고, 약 49.95dB의 IMD 개선 특성을 얻어, 본 논문에서 제안하는 시스템은 간단함과 선형성을 동시에 제공할 수 있다는 것을 입증하였다.
In this investigation, we have studied the diffusion of the $Cu^+$ ion in the Cu/Ta/SiOCH/Si and Cu/Ta/$SiO_2$/Si MIS-C structure. The Cu ions diffusion into the Ta barrier and SiOCH was examined by shift in flatband voltage of capacitance-voltage measurement and leakage current of current-voltage measurement. These evalution indicated that $Cu^+$ ion diffusion rate in Ta/SiOCH is considerably lower then the Ta/$SiO_2$ structure. And diffusion barrier Ta(50[nm]) is useful barrier against $Cu^+$ ion diffusion up to 450$^{\circ}C$.
As the integrated circuit device shrinks to the smaller dimension, the chemical mechanical polishing (CMP). process was required for the global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer with free-defect. However, as the IMD layer gets thinner, micro-scratches are becoming as major defects. Micro-scratches are generated by agglomerated slurry, solidified and attached slurry in pipe line of slurry supply system. It is well known that the presence of hard and larger size particles in the CMP slurries increases the defect density and surface roughness of the polished wafers. In this paper, we have studied. aging effect the of CMP slurry as a function of particle size. We prepared and compared the self-developed silica slurry by adding of abrasives before and after annealing. As our preliminary experiment results, we could be obtained the relatively stable slurry characteristics comparable to original silica slurry in the slurry aging effect.
지상국과 교신을 위한 위성체의 트랜스폰더를 개발 시작 단계부터 발사 단계까지 동작상태를 시험하기 위한 장비를 설계하였다. 설계한 시험 장비는 COTS(Commercial Off-The-Shelf) 부품을 사용하여 크기와 개발 기간을 단축하였으며, 위성 발사 후 지상국에서도 사용할 수 있도록 설계하였다. 측정 결과 시험 장비의 상향 링크와 하향 링크의 경로 손실은 각각 47.8 dB와 42.6 dB로 나타났다. 또한 송신단의 선형특성은 -50 dBm 출력에서 60.68 dBc의 IMD3를 가진다.
S-대역 SPST MMIC 스위치의 격리도 특성을 두 서로 다른 RF 결합 방법 인 마이크로스트립(microstirp)과 접지 코플라나 웨이브가이드(GCPW) 선로로 구성하여 분석하였다. 스위치의 온-오프 격리도는 마이크로스트립 설계에 비하여 접지 코플라나 웨이브가이드 선로를 사용하는 경우 5.8 dB 개선되었고, 접지 코플라나 웨이브가이드 선로에 코플라나 와이어본드 결합을 적용하는 경우 6.9 dB 더 향상된 격리도 특성을 3.4 GHz의 주파수에서 얻을 수 있었다. 측정된 삽입 손실 및 IMD3는 $3.2{\sim}3.6\;GHz$ 대역에서 1.94 dB보다 작았으며, 64 dBc보다 큰 특성을 얻었다.
본 논문에서는 correction 증폭기의 위상특성을 제어하는 delay line을 사용한 새로운 형의 feedforward 선형화기를 제시하였다. 사용된 delay line은 상용제품에서 사용하는 pilot-tone 회로 없이 IM 성분을 제거하는 기능을 수행한다 선형화기의 오차신호구간(error signal loop)은 위상변환기, 감쇄기 및 빼기회로 등의 주요 소자들로 구성되며, pilot-tone 신호 발생 회로 없이 보다 우수한 선형화 특성을 얻기 위하여 이들 주요 소자들을 새로운 형으로 개발하였으며, 이는 상용 선형화기 설계에서 필수적인 기술이다. 선형화기는 KMW사에서 국내 PCS기지국 용으로 개발된 35W 대전력 증폭기를 사용하였으며, 측정을 위하여 중심주파수 1855 MHz에서 0.6 MHz 신호 간격을 갖는 two-tone신호를 입력하였다. 측정 결과, 약I5dB(30∼45 dBm)의 입력신호 변화 범위에서 58.5dBc∼63.2 dBc IMD 특성을 보였으며, 약 16.9 dB∼24.6 dB의 C/I 개선을 구현하였다.
저밀도 파장분할 방식 (CWDM)을 사용하는 광중계기와 광전송시스템에 사용할 수 있는 PIN PD (Positive Intrinsic Negative Photo Diode)를 제작하고 특성을 알아보았다. 특별히 제작된 CWDM 필터를 PD 패키지에 포함하여 일체형으로 제작하여 기존에 별도로 연결하여 사용하던 방법에 비해 작업성과성능 그리고 가격면에서 우수함을 보였다. 일체형 저밀도 파장분할 PD를 제작하기 위해서 CWDM 필터 조립 단계, PD 패키징 단계, 완제품 최종 조립 및 측정 단계의 3단계 과정을 수행하였다. 제작된 PD는 0.5 dB 대역폭이 17 nm, 투과 단자의 인접채널의 고립도는 60 dB 이상으로 측정되었고, 반사 단자의 고립도는 20 dB 이상으로 측정되었다. 무선주파수 특성을 위해 IMD3를 측정결과 63dBc 이상이었으며 PD의 응답도는 제작 샘플 23개중 20개가 0.9A/W 이상이었다. 일체형으로 제작함으로써 전체적인 삽입손실이 0.4-0.7 dB 정도 줄었다.
본 논문에서는 K대역의 신호를 수신하여 저잡음 증폭 및 L대역으로 하향 변환하는 다채널 전단 수신기를 설계 및 제작하였다. 제작된 다채널 전단 수신기는 잡음지수 2.3 dB 이하의 특성을 가지는 GaAs-HEMT 기반의 저잡음 증폭소자, 이미지 성분의 억제를 위한 IR(Image Rejection) Filter, 이미지 성분 억제와 IMD (Intermodulation Distortion) 특성 개선을 위한 IR(Image rejection) 믹서를 포함한다. 제작된 다채널 전단 수신기의 시험결과, 3.8 dB 이하의 잡음지수와 27 dB 이상의 변환이득을 가지며 입력신호 기준 -9.5 dBm 이상의 P1dB(1dB Gain Compression Point) 특성을 나타내었다.
본 논문에서는 650MHz에서 2,700MHz의 주파수 대역에서 우수한 동적영역과 선형성 특성을 나타내는 RF-수신기를 설계하고, 왜곡신호(누설 또는 혼변조)를 측정할 수 있는 지능형, 광대역 RF-왜곡신호 계측시스템을 구현하였다. 광대역 특성의 RF-수신모듈은 저 잡음특성과 동적영역 관계를 분석하여 RF수신단의 선형화 파라미터를 최적화시켰다. 지능형 디지털-왜곡(혼변조) 측정시스템에서는 측정하려는 왜곡(혼변조)신호를 PC상의 GUI 로 처리하여 원하는 계측파라미터를 PC 모니터에 나타내었다. 설계된 계측장치를 650MHz-2700MHz 까지 가변시켜 왜곡신호를 측정한 결과, -127.8dBc에서 -138dBc까지 나타내어 지능형 디지털 계측기로 이용될 수 있음을 보였다.
본 논문에서는 마이크로스트립 선로상의 금속부분을 일부 제거한 형태의 Photonic bandgap (PBG) 구조의 특성을 분석하고 형태를 최적화 한 후 전력 증폭기에 적용하여 고조파 동조를 수행하였다. 이 구조는 제작 및 접지에서 타 구조에 비해 유리하다. PCB 제작 과정의 오차를 줄이기 위해 단위 격자의 크기를 수직방향으로 증가시키고, 테이퍼 선로를 이용하여 입출력을 50 $\Omega$으로 유지시켰다. EM 시뮬레이션으로 PBG 구조의 특성을 분석하고 설계하였으며, 최종적으로 통과대역 손실 0.3~0.4dB, 저지대역폭 6~7GHz의 특성을 얻었다. 전력 증폭기에 PBG구조를 적용한 후 출력 전력은 0.72~0.99dB, PAE는 1.14~7.8 %, 3차 IMD는 1 dBc 증가하는 결과를 얻을 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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