${\mu}AJM$ 마스크의 제작에 노출시간변화기법 적용
(Application of Exposure Time Variation Method to Fabricate a Mask for ${\mu}AJM$ )
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.659-660
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- 2011