Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.659-660
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Application of Exposure Time Variation Method to Fabricate a Mask for ${\mu}AJM$

${\mu}AJM$ 마스크의 제작에 노출시간변화기법 적용

윤해룡 (안동대학교 기계자동차공학과) ;
김호찬 (안동대학교 기계자동차공학과) ;
황혜연 (안동대학교 기계자동차공학과) ;
고태조 (영남대학교 기계공학부) ;
이인환 (충북대학교 기계공학부)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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