• 한국전산유체공학회지
• /
• 제19권1호
• /
• pp.57-63
• /
• 2014

This study performed numerical analysis for the characteristics of flow-induced forces and the flow instability depending on the cross-sectional shape of the cylinder in laminar flow. To implement the cylinder cross-section, we adopted an Immersed Boundary Method with marker particles. We analyzed flow characteristics based on the radius of corner curvature. Main parameters are corner radius and Reynolds number (Re). With Re = 40, 50, 150 we calculated the flow field, drag coefficient, RMS of lift coefficient, pressure coefficient and Strouhal number in conjunction with the corner radius variation. Also, we calculated critical Reynolds number ($Re_c$) depending on the corner radius variation.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국추진공학회 2007년도 제28회 춘계학술대회논문집
• /
• pp.313-316
• /
• 2007

본 연구는 정사각형 용기에서 배수시 유동장의 변화를 이해하기 위하여 용기의 모서리의 반경변화에 따른 배수흐름의 특성을 연구하였다. 이 연구의 목적은 서로 다른 반지름의 모서리가 와류생성을 억제하는 원리에 대해 이해는 것이다. 사각형 용기의 유동장을 가시화하기 위하여 PIV기법을 사용하였다. 그리고 배수가 있을 때와 없을 때에 대해, 각각 수직방향과 수평방향에서 결과를 얻었다.

• Journal of the Optical Society of Korea
• /
• 제16권3호
• /
• pp.221-227
• /
• 2012

We propose optical proximity corrections (OPCs) for digital micromirror device (DMD)-based maskless lithography. A pattern writing scheme is analyzed and a theoretical model for obtaining the dose distribution profile and resulting structure is derived. By using simulation based on this model we were able to reduce the edge placement error (EPE) between the design width and the critical dimension (CD) of a fabricated photoresist, which enables improvement of the CD. Moreover, by experiments carried out with the parameter derived from the writing scheme, we minimized the corner-rounding effect by controlling light transmission to the corners of a feature by modulating a DMD.

• 한국진공학회지
• /
• 제11권4호
• /
• pp.212-217
• /
• 2002

고신뢰성 트렌치 게이트 MOSFET을 제작하기 위해 트렌치 코너를 pull-back 공정과 수소 열처리 공정을 이용하여 트렌치 코너를 둥글게 만드는 기술을 개발하였고 이를 이용하여 균일한 트렌치 게이트 산화막을 성장시킬수 있었다. 그 결과 수소 열처리 하기 전에 항복전압이 29 V인 것이 수소 열처리한 후 약 36 V로 증가하여 항복 전압에서 약 25% 향상되었다. 그리고 트렌치 게이트를 이용한 MOSFET에서 트렌치 셀이 약 45,000개 일때 게이트와 소스에 10 V를 인가했을 때, 드레인 전류는 약 45.3 A를 얻었고, 게이트 전압의 10 V, 전류를 5 A를 인가한 상태에서 On-저항은 약 55 m$\Omega$ 얻었다.

• 한국전산구조공학회:학술대회논문집
• /
• 한국전산구조공학회 2004년도 봄 학술발표회 논문집
• /
• pp.325-331
• /
• 2004

Generally, the buckling of thin-walled structures has studied for rectangular sections or circular sections. Rectangular sections have small stiffness and circular sections have large stiffness when they are compared with rectangular sections for local buckling. But both of them have similar stiffness to column buckling. Therefore in this paper, we are going to analyze the local buckling for the box section with rounded comer and compare with rectangular section. Also we confirm that the rounded comer section has larger local buckling strength than rectangular section.

• 대한전자공학회논문지SD
• /
• 제47권3호
• /
• pp.1-6
• /
• 2010

Saddle MOSFET의 모서리의 효과에 대한 고전역학과 양자역학적 시뮬레이션의 비교분석을 3차원 수치 시뮬레이터를 사용하여 수행하였다. 비교분석 결과 양자역학적 시뮬레이션에서는 실리콘 핀의 단면에서의 정확한 최대 전자 밀도의 위치와 크기를 제공함으로써 소자의 정확한 설명을 제공하는 것을 보여 주었고, 이를 이용하여 모서리 효과 및 그것이 소자의 문턱전압의 특성을 미치는 영향의 정확한 분석이 실행되었다. 또한, 모서리 효과를 억제하기 위해서 실리콘 핀의 모서리를 둥글게 하거나 구석의 바디도핑을 낮추는 두 가지 가능한 기법을 제시했다.

• Wind and Structures
• /
• 제35권1호
• /
• pp.55-66
• /
• 2022

Tall buildings are often subjected to steady and unsteady forces due to external wind flows. Measurement and mitigation of these forces becomes critical to structural design in engineering applications. Over the last few decades, many approaches such as modification of the external geometry of structures have been investigated to mitigate wind-induced load. One such proven geometric modification involved the rounding of sharp corners. In this work, we systematically analyze the impact of rounded corner radii on the reducing the flow-induced loading on a square cylinder. We perform 3-Dimensional (3D) simulations for high Reynolds number flows (Re=1 × 105) which are more likely to be encountered in practical applications. An Improved Delayed Detached Eddy Simulation (IDDES) method capable of capturing flow accurately at large Reynolds numbers is employed in this study. The IDDES formulation uses a k-ω Shear Stress Transport (SST) model for near-wall modelling that prevents mesh-induced separation of the boundary layer. The effects of these corner modifications are analyzed in terms of the resulting variations in the mean and fluctuating components of the aerodynamic forces compared to a square cylinder with no geometric changes. Plots of the angular distribution of the mean and fluctuating coefficient of pressure along the square cylinder's surface illustrate the effects of corner modifications on the different parts of the cylinder. The windward corner's separation angle was observed to decrease with an increase in radius, resulting in a narrower and longer recirculation region. Furthermore, with an increase in radius, a reduction in the fluctuating lift, mean drag, and fluctuating drag coefficients has been observed.

• 한국전기전자재료학회논문지
• /
• 제21권3호
• /
• pp.203-207
• /
• 2008

Chemical mechanical polishing (CMP) allows the planarization of wafers with two or more materials. There are many elements such as slurry, polishing pad, process parameters and conditioning in CMP process. Especially, polishing pad is considered as one of the most important consumables because this affects its performances such as WIWNU(within wafer non-uniformity) and MRR(material removal rate). In polishing pad, grooves and pores on its surface affect distribution of slurry, flow and profile of MRR on wafer. A subject of this investigation is to apply CMP for planarization of shallow trench isolation structure using microstructure(MS) pad. MS pad is designed to have uniform structure on its surface and manufactured by micro-molding technology. And then STI CMP performances such as pattern selectivity, erosion and comer rounding are evaluated.

• 한국진공학회지
• /
• 제13권3호
• /
• pp.120-126
• /
• 2004

트렌치 소자 제조시 게이트 산화막 성장과 내압 강하의 원인이 되는 식각손상 회복과 코너 영역의 구조를 개선하기 위해 수소 분위기 열처리를 하였다. 열처리시 수소 원자에 의한 환원 반응을 이용하여 표면 에너지가 높은 코너 영역에서는 원자들의 이동에 의한 결정면 재배열, 산화막 측벽에서의 실리콘 원자 적층, 표면 거칠기의 개선 효과 등을 전자현미경 관찰을 통해 확인하였다. 실리콘 원자의 이동을 방해하는 식각 후 잔류 산화막을 수소 가스의 환원성 분위기에서 열처리함으로써 표면 에너지를 낮추는 방향으로 원자의 이동이 일어나 concave 영역, 즉 트렌치 bottom corner에서는 (111), (311) 결정면 재분포 현상이 일어남을 확인할 수 있었다. 또한 convex comer에서의 원자 이동으로 인해 corner 영역에서는 (1111) 면의 step 들이 존재하게 되고 원자 이동에 의해 산화막 측벽에 이르러 이동된 원자의 적층이 일어나며, 이는 열처리시 표면 손상 회복이 원자이동에 의함을 나타낸다. 이러한 적층은 표면 상태가 깨끗할수록 정합성을 띄어 기판과 일치하는 에피 특성을 나타내고 열처리 온도가 높을수록 표면 세정 효과가 커져 식각손상 회복효과가 커지며, 이를 이용하여 이후의 산화막 성장시 균일한 두께를 코너영역에서 얻을 수 있었다

• 한국공작기계학회논문집
• /
• 제13권3호
• /
• pp.1-7
• /
• 2004

Abrasive water-jet(AWJ) machining can cut various materials such as metal, glass and plastics. However, the AWJ machining has some troubles including kerf, rounding and side taper. In this study, we experimently investigated the correlation between the traverse speed of the abrasive water-jet and the dimensional error of the workpiece according to the thickness and the types of the material. The specimen was the stainless steel and the mild steel and the predetermined contour cutting was conducted. A comer radius error, an uncut width and a kerf were measured and evaluated.