Interest in use of ink-jet printing for pattern-on-demand fabrication of metal interconnects without complicated and wasteful etching process has been on rapid increase. However, ink-jet printing is a wet process and needs an additional thermal treatment such as an annealing process. Since a metal ink is a suspension containing metal nanoparticles and organic capping molecules to prevent aggregation of them, the microstructure of an ink-jet printed metal interconnect 'as dried' can be characterized as a stack of loosely packed nanoparticles. Therefore, during being treated thermally, an inkjet-printed interconnect is likely to evolve a characteristic microstructure, different from that of the conventionally vacuum-deposited metal films. Microstructure characteristics can significantly affect the corresponding electrical and mechanical properties. The characteristics of change in microstructure and electrical resistivity of inkjet-printed silver (Ag) films when annealed isothermally at a temperature between 170 and $240^{\circ}C$ were analyzed. The change in electrical resistivity was described using the first-order exponential decay kinetics. The corresponding activation energy of 0.44 eV was explained in terms of a thermally-activated mechanism, i.e., migration of point defects such as vacancy-oxygen pairs, rather than microstructure evolution such as grain growth or change in porosity.
DongWoon Lee;Ki Rak Kim;Eou Sik Cho;Yong-min Jeon;Sang Jik Kwon
Journal of the Semiconductor & Display Technology
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v.22
no.1
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pp.23-27
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2023
Organic light-emitting diode(OLED) is very thin organic films which are hundreds of nanometers. Unlike bottom-emission OLED(BEOLED), top-emission OLED(TEOLED) emits light out the front, opaque moisture absorbents or metal foils can't be used to prevent moisture and oxygen. And it is difficult to have flexible characteristics with glass encapsulation, so thin film encapsulation which can compensate for those two disadvantages is mainly used. In this study, Al2O3 thin films by atomic layer deposition(ALD) were examined by changing the argon gas purge flow rate and we applied this Al2O3 thin films to the encapsulation of TEOLED. Ag / ITO / N,N'-Di-[(1-naphthyl)-N,N'-diphenyl]-1,1'-biphenyl-4,4'-diamine / tris-(8-hydroxyquinoline) aluminum/ LiF / Mg:Ag (1:9) were used to fabricate OLED device. The characteristics such as brightness, current density, and power efficiency are compared. And it was confirmed that with a thickness of 40 nm Al2O3 thin film encapsulation process did not affect OLED properties. And it was enough to maintain a proper OLED operation for about 9 hours.
Jo, Chun-Nam;Kim, Jin-Sa;Sin, Cheol-Gi;O, Jae-Han;Choe, Un-Sik;Kim, Chung-Hyeok;Lee, Jun-Ung
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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v.49
no.2
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pp.107-112
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2000
$(Sr_{0.85}Ca_{0.15})TiO_3$(SCT) thin films were deposited on Pt-coated $TiO_2/SiO_2/Si$ wafer by the rf sputtering method. Experiments were conducted to investigate the electrical properties of SCT thin films with various top electrodes. Various top electrodes as Pt, Al, Ag, Cu were deposited on SCT thin films by sputter and thermal evaporator. The characteristics of C-F and C-V of SCT thin films were not obviously varied with various top electrodes, SCT thin films annealed at $600^{\circ}C$ represents as favorable capacitance characteristics than SCT thin films not annealed, and Pt top electrode have the most high capacitance. The characteristic of I-V of SCT thin films showed that Pt top electrode revealed more less leakage current density than other electrodes, had a leakage current density below 10-8$[A/cm^2]$ until 25[V] applied voltage.
Yang, Seol-Un;Seong, Shi-Jin;Kim, J.S.;Hwang, Han-Na;Hwang, C.C.;Chang, Young J.;Park, Soo-Hyon;Min, H.G.
Journal of the Korean Vacuum Society
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v.16
no.5
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pp.311-321
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2007
We have researched the chemical defects of NiO ultrathin films grown on Ag(001) by x-ray photoelectron spectroscopy. In particular, O 1s and Ni 2p spectra were analyzed consistently with control film thickness, $O_2\;and\;H_2O$ partial pressure and substrate temperature. As a result, we could identify each chemical defect. In addition, we suggest the optimum growth condition to minimize the defect density.
Structural, magnetic and magnetoresistance behavior of NiFe/Ag multilayers prepared by a magnetron sputter under an Ar and $Ar/H_2$ atmosphere was studied. It was difficult to make a uniform multilayer by using an Ar atmosphere. However, the uniform multilayers could be fabricated by using an $Ar/H_2$ atmosphere. This was thought to be due to decrease in the energy of the sputtered atom and Ar content of the film. Typical magnetoresistance behavior of the discontinuous NiFe/Ag multilayers appeared when the uniform multilayer was formed and annealed. Substrate temperature did not improve the uniformity of the multilayers. Above 20$0^{\circ}C$ of the substrate temperature, the films were almost formed into granular alloys rather than multilayers.
For higher sensitivity in ultraviolet (UV) and even vacuum ultraviolet (VUV) detection of silicon-based sensors, a sandwich-structured film sensor based on Ag Localized Surface Plasmon Resonance (LSPR) was designed and fabricated. This film sensor was composed of a Ag nanoparticles (NPs) layer, SiO2 buffer and fluorescence layer by physical vapour deposition and thermal annealing. By tuning the annealing temperature and adding the SiO2 layer, the resonance absorption wavelength of Ag NPs matched with the emission wavelength of the fluorescence layer. Due to the strong plasmon resonance coupling and electromagnetic field formed on the surface of Ag NPs, the radiative recombination rate of the luminescent materials and the number of fluorescent molecules in the excited state increased. Therefore, the fluorescent emission intensity of the sandwich-structured film sensor was 1.10-1.58 times at 120-200 nm and 2.17-2.93 times at 240-360 nm that of the single-layer film sensor. A feasible method is provided for improving the detection performance of UV and VUV detectors.
A zinc borosilicate glass having a low softening temperature of $490^{\circ}C$ has been investigated as a protective layer for Ag patterns against chemical reactions with a $I^-/I_3^-$ electrolyte in dye-sensitized solar cells (DSSCs). A thick glass layer was prepared by the typical screen printing and firing processes to obtain a final thickness of ${\sim}5{\mu}m$. The chemical leaching performance of the glass layer in the electrolyte revealed that the reactive Ag pattern can be significantly protected by utilizing the low softening protective layer. The electrical resistance of the FTO-coated glass substrate was effectively maintained at a low value of ${\sim}27{\Omega}$ as long as the glass layer was well densified at a sufficiently high temperature of ${\sim}520^{\circ}C$. The transmittance of the layer was near 60%, depending on the firing temperature of the glass layer.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.30
no.3
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pp.144-147
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2017
In this study, $Ge_2Sb_2Te_5$ and $Ge_8Sb_2Te_{11}$ were used as an insulator layer to fabricate ReRAM devices. The resistance change is correlated to the appearance or disappearance of a conductivity filament at the surface of the GeSbTe layer. Changes in the electrical properties of ITO/GeSbTe/Ag devices were measured using a I-V-L measurement system. As a result, compared to the $ITO/Ge_8Sb_2Te_{11}/Ag$ device, this $ITO/Ge_2Sb_2Te_5/Ag$ ReRAM device exhibits highly uniform bipolar resistive switching characteristics, such as the operating voltages, and the resistance values.
A novel method of fabricating polythiophene-gold nanoparticle composite film electrodes for photoelectric conversion is demonstrated. The method includes electrodeposition of gold and electropolymerization of 2,2'-bithiophene onto an indium-tin-oxide (ITO) electrode. First, electrodeposition of gold onto the ITO electrode was carried out with various repetition times of pulsed applied potential (0.25 s at -2.0 V vs. Ag/AgCl) in an aqueous solution of $HAuCl_4$. Significant progress of the number density of deposited gold nanoparticles was confirmed from scanning electron micrographs, from 4 (1 time) to 25% (15 times). Next, electropolymerization of 2,2'-bithiophene onto the above ITO electrode was performed under controlled charge condition (+1.4 V vs. Ag wire, 15 $mC/cm^2$). Structural characterization of as-fabricated films were carried out by spectroscopic and electron micrographic methods. Photocurrent responses from the sample film electrodes were investigated in the presence of electron acceptors (methyl viologen and oxygen). Photocurrent intensities increased with increasing the density of deposited gold nanoparticles up to ~10%, and tended to decrease above it. It suggests that the surplus gold nanoparticles exhibit quenching effects rather than enhancement effects based on localized electric fields induced by surface plasmon resonance of the deposited gold nanoparticles.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.24
no.3
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pp.200-207
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2011
Abstract: The effect of lead free glass frit compositions on the properties of thick film conductor and resistor pastes were investigated. Two types lead free frits, HBF-A(without $Bi_2O_3$) and HBF-B(with $Bi_2O_3$) were made from $SiO_2$, $B_2O_3$, $Al_2O_3$, CaO, MgO, $Na_2O$, $K_2O$, ZnO, MnO, $ZrO_2$, $Bi_2O_3$. And Ag based conductor pastes and $RuO_2$ based resistor paste were prepared by mixed with these frits and functional phase(Ag and $RuO_2$), and organic vehicle. The properties of thick film conductor and resistor sintered at $850^{\circ}C$ were studied after printing on $Al_2O_3$ substrate. The morphology of the sintered films surface were SEM and EDS were carried out to analysis the chemical composition on resistor surface and state of Ru atom in frit matrix.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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