• 제목/요약/키워드: 전자시장

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온라인베팅 확대허용 및 불법 온라인베팅 축소방안에 관한 인식 차이: 이용자, 중독자 및 일반인의 인식 비교 (The Difference of Awareness Level on Positive and Negative Effects of Permitting Online Gambling's Expansion: Focused on Gambling Users, Gambling Addicts, and General Population)

  • 김주연;최현주;안경모
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제17권1호
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    • pp.426-435
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    • 2017
  • 온라인베팅은 누구나 언제 어디서나 접속이 가능하며 ICT기술의 발전에 따라 베팅의 편리성과 다양한 기회로 국내 불법 도박규모는 합법 사행산업의 4배 이상에 달하며, 불법 온라인베팅 시장 또한 가파르게 커지고 있다. 이에, 국내에서 운영되고 있는 체육진흥투표권과 전자복권 외에 다른 유형의 온라인베팅도 확대허용하고 관리해야 할 필요성이 제기되고 있다. 본 연구는 온라인베팅 확대허용에 대한 인식, 온라인베팅 확대허용 시 운영방안과 불법 온라인베팅 축소방안에 대한 인식을 온라인베팅 이용자, 중독자 및 일반인 대상으로 파악하였다. 분석결과, 온라인베팅 확대허용에 대한 긍정적 부정적 인식에 집단별 유의한 차이가 있는 것으로 검증되었으며, 합법 온라인베팅 종목으로 경주류 베팅 확대허용 시 운영방안에 대한 인식 차이도 의미 있는 차이를 보였다. 이를 통해 온라인베팅 확대허용으로 양성화하게 되면 불법 온라인베팅 이용자가 합법 온라인베팅 이용자로 전환하게 될 가능성과 건전하게 이용할 수 있는 가능성이 있다는 것이 확인된 만큼 온라인베팅 확대허용의 긍정적 효과를 기대할 수 있을 것이다.

서비스 지향 아키텍쳐 하에서 비즈니스 프로세스 명세에 관한 메타 데이터를 공유하기 위한 온톨로지와 등록저장소의 개발 및 관리 방안 (Development and Management of an Ontology and Registries for Sharing Metadata about Business Process Specifications under SOA)

  • 김형도;김종우
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제7권11호
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    • pp.9-22
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    • 2007
  • 전자문서와 같이 기업간거래에 관한 정보자원의 등록저장 및 공유에 있어서 표준화와 활용은 상당한 진척이 이루어졌으나, 비즈니스 프로세스의 경우 이를 정의하는 방법이 다양하고 복잡한 이유로 비즈니스 프로세스 정보자원의 등록저장 및 공유에는 어려움이 많다. 실제로 ebXML BPSS, WS-BPEL, BPMN 등과 같이 서비스 지향 아키텍쳐 하에서 활용가능한 여러 비즈니스 프로세스 정의 언어들이 시장에서 경쟁하고 있으며, 이들을 이용해서 표현된 다양하고 이질적인 비즈니스 프로세스 명세(정의)들을 체계적으로 등록저장하기 위한 방안이 절실히 필요한 상황이다. 이 논문에서는 ebRR4BP라고 하는 기업간 비즈니스 프로세스 등록저장소 프로토타입을 개발하여, 기업간 비즈니스 프로세스 공유의 유용함을 제시하고자 한다. 이를 위해서 먼저 다양한 기업간 비즈니스 프로세스 등록을 위한 메타데이터 온톨로지를 설계하고, 이를 ebXML 등록저장소에 구현할 수 있도록 ebXML 등록저장소 정보모델로 매핑하는 방안도 구체적으로 제시한다. 이러한 온톨로지와 매핑방안은 기업간거래 등록저장소간의 비즈니스 프로세스 메타데이터의 상호교환을 지원하기 위한 밑바탕이 될 것이다.

새로운 식품소재로서의 의곡류 amarans, quinoa의 제빵 특성에 관하여

  • Morita, Naofumi
    • 한국식품저장유통학회:학술대회논문집
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    • 한국식품저장유통학회 2000년도 임시총회 및 학술발표회 진행표 및 발표논문 초록집 - 한국농산물저장유통학회
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    • pp.6-7
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    • 2000
  • 개발도상국의 급격한 인구 증가에 의해 세계 60억 이라는 인구도 2050년을 맞아 약 100억에 도달할 것이라고 일컬어진다. 이로 인한 장래의 식량 위기에 대비하여 벼, 밀, 옥수수 등의 증산, 품종 개발도 물론 필요하지만 선진국을 중심으로 시장성 높은 작물의 소비가 우선되어지는 상황에 맞추어 세계적으로 주식이 될 수 있는 새로운 곡류의 확보와 생산체제도 중요한 문제이다. 한편으로 생활의 향상에 따른 식물의 다양화와 건강지향의 관점으로 본 다 품목 소량형의 식생활을 하는 것이 식물성 allergy의 방지 측면으로서의 곡류 특히 잡곡류의 유효 이용이 부각되어진다. 이들 중 amarans, quinoa는 벼과 식물에 비교해서 광합성능이 좋은 C4식물로서 생장이 빠르고 동시에 비타민, 무기질, 지질이 풍부하고 구성 단백질 중에 필수 아미노산을 많이 함유하여 아미노산 등급도 높고 특히 영양 발란스도 우수하다. 또 cholesterol 저하작용, 식물섬유에 의한 대장암의 억제 작용 등이 잘 알려져 있다. 그리l고 quinoa에 대해서는 아메리카 항공우주국(NASA)에서 CELSS(Controlled Ecological Life Support System; 장기간 우주특무비행의 승선원을 위한 공기중의 이산화탄소를 제거하고 식량·산소·물을 만들어 내기 위해 식물을 이용하는 방법)에 적합한 작물 후보로써 선택되어 신규 식품소재로써 주목받고 있다. 이상과 같은 견지로부터 amarans, quinoa를 일상식화되고 있는 빵에 이용하기 위해 제빵성 및 혼합중의 반죽의 모든 성질에 대해서 검토했다. amarans는 초과의 Amaranthus에 속하고 주요 생산국은 아메리카, 멕시코, 페루등이지만 일본에서는 주로 A.hypochondriacus가 수입되어 이용 되어지고 있다.amarans의 가루는 단독으로는 점탄성 있는 반죽을 형성하지 않기 때문에 밀가루에 일부를 대용한 wheat flour dough를 사용하고 가정용 제빵기로 구워 최종 단계에까지의 제빵성 결과를 산출했다. amarans folur 5%의 대체에는 빵의 비용적이 비교적 증대했지만 그 이상 amarans flour을 대처하면 확연히 비용적은 감소했다. amarans flour 10% 대체에 hemicellulase 1250U 이상을 첨가하면 비용적은 눈에 띄게 증대했다. farinograph에 있어서 반죽의 안정성은 amarans flour 10% 대용에 현저히 감소했다. 반죽의 점탄성(아축응력, 탄성률, 점성계수)는 amarans flour 10%를 대용한 것이 무첨가한 것보다 많이 단단해졌음을 알 수 있었다. 혼합중의 반죽의 조사형 전자현미경 관찰로 amarans flour로 대체한 gluten이 단단해졌음을 알수 있었다. 유화제 stearly 칼슘, 혹은 hemicellulase를 amarans 10% 대체한 밀가루에 첨가하면 확연히 비용적을 증대시킬 수 있다는 사실을 알 수 있었다. quinoa는 명아주과 Chenopodium에 속하고 페루, 볼리비아 등의 고산지에서 재배 되어지는 것을 시료로 사용하였다. quinoa 분말은 중량의 5-20%을 quinoa를 대체하고 더욱이 분말중량에 대하여 0-200ppm의 lipase를 lipid(밀가루의 2-3배)에 대하여 품질개량제로서 이용했다. 그 결과 quinoa 대량 7.5%에서 비용적, gas cell이 가장 긍정적 결과를 산출했고 반죽의 조직구조가 강화되었다. 또 quinoa 대체에 의해 전분-지질 복합제의 흡열량이 증대된 것으로부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다. 이것은 quinua 대체량 증가에 따른 반죽의 안정성이 저하되어 버린 것으로 생각되어진다. 더욱이 lipase를 첨가하면 반죽이 분화하는 경향이 보여졌지만 첨가량 75ppm에 있어서 상당히 비용적의 증대가 보였다. 이것은 lipase의 가수분해에 의해 생긴 monogliceride에 의한 유화각 일어나서 보존성이 개선되어진 것으로 quinoa를 보다 많이 빨에 이용하기 위해서는 lipaserk 품질개량제로서 유효하다는 것을 알 수 있었다. 또 lipase는 quinoa의 대체량이 비교적 많은 10-20%의 섭취가 곧 allergy 질환 문제의 개선책이 되는 것은 물론 amarans, quinoa에는 lysine, 함황아미노산이 많고 지질중의 지방산조성도 좋고 무기질도 많이 함유되어 있다. 이와같이 우리들 개인의 건강에 대한 배려도 있고 amarans, quinoa등의 식품재료를 적극적으로 사용할 수 있도록 유념해 두었으면 하는 바램이다.

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공간정보기반 부동산거래선진화시스템 구축방안 (Study on Modernized Real Estate Transaction System based on Spatial Information)

  • 조춘만;정문섭
    • Spatial Information Research
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    • 제21권6호
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    • pp.69-80
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    • 2013
  • 우리나라는 1983년 공인중개사 관련법을 최초로 도입하여 공인중개사를 중심으로 한 부동산거래문화 발전에 노력해왔다. 또한 국토교통부는 중개사협회 등 거래정보망 사업자를 일부 지정하여 매물정보의 신뢰성 및 거래의 투명성 확보에 주력해왔다. 그럼에도 불구하고 부동산거래 자체에 대한 준법수준과 관행은 대부분 오랜 과거 복덕방 시절의 그것에서 크게 벗어나지 못한 실정에 놓여있다. 이러한 부동산 거래관련 후진적 행태는 국민의 중개업에 관한 신뢰성등 사회적 자본(social capital)의 축적을 방해하며, 불필요한 사회적 추가비용이 발생되는 결과를 초래하고 있다. 즉, 중개업자들에 의한 중개대상물에 대한 낮은 신뢰성과 그로 인한 투기적 가격상승 우려 및 시장왜곡 등이 지속적으로 발생하는 결과에 일조하고 있다. 이러한 배경 하에, 본 연구의 목적은 국민에게 신뢰할 수 있는 부동산정보를 제공하고 효율적인 부동산거래를 지원하기 위한 공간정보기반 부동산거래선진화시스템의 모델 및 그 구축방안을 제시하는데 있다. 이를 통하여 우리나라 부동산거래를 선진화하고 경쟁력 있는 부동산중개업 육성에 기여하고자 하였다.

자동차급발진을 감지하기 위한 모듈 시스템 구현 (Implement module system for detection sudden unintended acceleration)

  • 차제희;장종욱
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2017년도 춘계학술대회
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    • pp.255-257
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    • 2017
  • 오늘날 자동차 시장에는 다양한 IT기술이 포함된 모델들이 출시되고 있다. 대표적으로 테슬라 사의 테슬라 모델S, 구글의 무인자동차 등이 속속 등장 하고 있다. 이렇게 IT 기술이 포함된 자동차는 운전자에게 다양한 편의성을 제공하고 제공되는 편의만큼 운전자들은 다양한 혜택을 누리고 있다. 하지만 이와 반대로 전자부품의 결함이나 오류로 인해 운전자들의 안전을 위협하는 사고의 발생이 일어나고 있는 것 또한 사실이다. 이러한 사고들 가운데 자동차 급발진 사고가 존재한다. 아직까지 자동차 급발진 사고의 원인은 뚜렷하지 않으나 자기장에 의한 ECU장치가 오류를 일으켜 자동차 급발진 사고가 발생한다는 주장이 가장 신뢰 받고 있다. 하지만 한국의 경우 자동차 급발진 사고가 일어날시 자동차 제조사 측에서는 단순히 운전자의 페달 조작 미스로 인해 사고가 일어났다고 주장하는 경우가 많으며, 운전자 측에서는 그에 대해 반박할 근거가 부족해 대부분의 운전자들이 책임을 지고 있다. 따라서 본 논문에서는 자동차 급발진 사고가 운전자의 페달 조작 실수인지 자동차의 장치 결함인지를 판별할 수 있도록 운전자의 페달 조작 영상을 획득하고 엑셀, 브레이크 등 제어부에 센서를 부착하여 정밀한 데이터를 획득, 저장하고 모니터링 할 수 있는 시스템을 구현 하였다.

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근전도를 이용한 손목방향인식 모듈에 관한 연구 (A Study of a Module of Wrist Direction Recognition using EMG Signals)

  • 이충헌;강성인;배성호;권장우;이동훈
    • 재활복지공학회논문지
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    • 제7권1호
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    • pp.51-58
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    • 2013
  • 고령화 시대로 변화해 가면서 재활 복지 산업, 스포츠 산업 시장이 빠르게 성장하고 있다. 특히, 근전도, 뇌전도, 안전도등 생체신호를 이용하여 휠체어 등 복지기기, 의수 및 의족을 제어할 수 있는 재활기기 및 일상의 전자기기 등을 제어할 수 생체 인터페이스 분야는 새로운 미래 신기술영역이며, 또한 사회적 약자인 장애인, 노약자, 재활환자에게 많은 도움을 줄 수 있을 뿐만 아니라 일반인에게도 다양한 응용분야에서 활용될 것이다. 상용화된 생체신호계측 장비 및 인터페이스의 경우 부피가 크고 복잡하며, 고가 제품으로 실생활에 이용하기에는 많은 제약을 갖고 있다. 본 논문에서는 휴대가 가능한 형태의 소형 근전도 신호계측 장치를 구현하였으며, 무선 전송이 가능한 형태의 인터페이스 시스템을 통하여 근전도 신호를 통한 하드웨어 장치 제어가 가능한 제어모듈 개발에 관한 연구를 수행하였다. 손목의 움직임을 통해 발생된 근전도 신호를 입력받아 불필요한 잡음을 제거하고, 신호를 증폭하는 휴대형 하드웨어 모듈을 설계 하였다. 획득된 근전도 신호를 디지털 신호로 변환과 함께 디지털 필터링을 위해 TI사의 TMS320F2808 DSP칩을 사용하여 구현하였다. 또한 획득된 근전도 신호로부터 주성분 분석 기법을 이용하여 상, 하, 좌, 우의 4 동작신호로 분류하였으며 분류된 데이터는 PC 터미널로 무선 전송하여 표시하도록 하였다. 최종적으로 4가지 동작에 대해 85%의 인식률을 얻었으며, 지금보다 높은 인식률을 얻게 된다면 근전도를 이용한 손목동작을 통하여 다양한 하드웨어 시스템을 제어하는 제어신호로 활용이 가능하리라 본다.

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소비자의 자민중심주의, 적대감 및 제품평가가 외국제품 구매의도에 미치는 영향에 관한 연구 : 한국과 일본 전자제품 구매에 대한 중국소비자를 중심으로 (A Study on the Consumer Ethnocentrism, Animosity and Product Judgment Effect on Foreign Products Purchase Intention : A Comparative Study between Korean and Japanese Electronic Products in China)

  • 정성훈;왕려원
    • 통상정보연구
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    • 제15권1호
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    • pp.185-206
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    • 2013
  • 소비자의 제품에 대한 평가는 구매의도에 영향이 미친다는 연구 논문들이 이미 나오고 있다. 소비자의 제품 평가는 제품의 품질, 구매 후 만족도와 기타 유형적인 가치에 기초를 두고 있을 뿐만 아니라 원산지 이미지, 브랜드 이미지 등 같은 무형의 가치에 두기도 한다. 일반적으로 소비자의 제품평가는 실질적인 품질이나 구매 후 만족에 의해 편성된다. 이러한 편성은 원산지 이미지와 같은 사회심리적인 영향으로 나타나기도 한다. 본 연구에서는 소비자 자민중심주의와 더불어 과거 수입국 소비자들이 잊을 수 없는 경제적. 정치적이나 심지어 군사적인 활동에 관여됨에 의해 나타나는 제품 원산지에 대한 선입관의 일환인 적대감이 구매의도에 미치는 관계를 연구하고자 한다. 분석 결과, 제품 평가는 구매의도에 정(+)의 영향을 주고 있음을 확인하였으며 소비자 자민중심주의와 적대감은 제품평가와 구매의도에 부(-)의 영향을 주고 있음을 발견하였다. 중국 시장의 경우, 자민중심주의적인 소비자는 외국 제품 구매에 대해 부정적인 인식을 가지고 있으며 또한 중국 소비자들의 일본 제품에 대한 강한 적대감이 제품평가 및 구매의도에 부(-)의 영향을 미치고 있는 것으로 나타났다. 따라서 일본 기업들은 중국 기업과의 협력과 정부간 친밀감 증대를 위한 노력을 확대시킬 필요가 있다. 반면에 한국 제품의 경우, 제품 평가가 일차적으로 소비자의 구매의도에 영향을 미치고 있으므로 한국 기업들은 소비자의 제품평가의 개선을 위해서 제품의 품질, 구매 후 만족도, 브랜드 이미지와 무형의 요소들을 개선시킬 필요가 있다.

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Cyber Fitting형 3D Avatar를 이용한 인터넷 쇼핑몰 Easy-Order Prototype 유형 제시를 위한 연구 (A Study on the Presentation of Easy-Order Prototype in the Internet Shopping Mall using the Cyber Fitting Type's 3D Avatar)

  • 최성원;임지영
    • 디자인학연구
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    • 제19권2호
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    • pp.43-52
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    • 2006
  • 인터넷 쇼핑몰 시장의 급성장 속에서 의류 쇼핑몰이 선결해야 할 가장 중요한 과제는 바로 구매 후의 높은 반품률이다. 이러한 반품률은 감성적 구매를 요구하는 소비자들의 인터넷 의류 쇼핑몰에 대한 불만족과 불신으로 이어지고, 이로 인한 고객 만족의 하락으로 인터넷 의류 쇼핑몰의 미래를 어둡게 하는 가장 큰 장애요소로 부각되고 있는 상황이다. 즉 보고, 만져보고, 느껴보려는 소비자들의 감성적 구매요구를 충족시키지 못하고 있다는 것이다. 최근에는 사이버 피팅(cyber fitting)형 쇼핑몰이 등장해 이 같은 인터넷 쇼핑의 단점을 보완해 주고 있지만 시각적 흥미를 유발시키는 데는 성공했지만 기존 서술형 사이트에 비해 정보 제공성이라는 면에서 그리고 구매자의 필요한 감성적 욕구를 충족시키지 못하고 있다. 따라서 본 연구에서는 사용자 중심의 인터넷 홈쇼핑에 대한 해결 방안을 다음과 같이 모색하고자 한다. 첫째, 사용자들이 쉽게 접근할 수 있는 새로운 형태의 프로토타입(Prototype)의 개발이며, 둘째, 프로토타입(Prototype)에 따른 인터페이스를 통해 3D 가상현실로 내용적으로 그리고 감성적 욕구를 충족 시켜 소비자들이 정확한 판단을 이끌어낼 수 있도록 정보를 시각화하여 전달하고자 한다. 즉, 현재까지의 일방적이고, 정형화되어진 인터넷 전자 상거래 쇼핑몰을 소비자의 감성적 요구를 충족시킬 수 있는 사용자 중심의 3D 아바타를 이용한 인터넷 쇼핑몰 프로토타입(Prototype) 유형을 제시 하고자 한다.

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효율적인 A/S작업 배정을 위한 CSP기반의 스케줄링 시스템 (Scheduling System using CSP leer Effective Assignment of Repair Warrant Job)

  • 심명수;조근식
    • 한국지능정보시스템학회:학술대회논문집
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    • 한국지능정보시스템학회 2000년도 추계정기학술대회:지능형기술과 CRM
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    • pp.247-256
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    • 2000
  • 오늘날의 기업은 상품을 판매하는 것 뿐만 아니라 기업의 신용과 이미지를 위해 그 상품에 대한 사후처리(After Service) 업무에 많은 투자를 하고 있다. 이러한 양질의 사후서비스를 고객에게 공급하기 위해서는 많은 인력을 합리적으로 관리해야 하고 요청되는 고장수리 서비스 업무를 빠르게 해결하기 위해서는 업무를 인력들에게 합리적으로 배정을 하고 회사의 비용을 최소화하면서 정해진 시간에 요청된 작업을 처리하기 위해서는 인력들에게 작업을 배정하고 스케줄링하는 문제가 발생된다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 화학계기의 A/S 작업을 인력에게 합리적으로 배정하는 스케줄링 시스템에 관한 연구이다. 먼저 스케줄링 모델을 HP 사의 화학분석 및 시스템을 판매, 유지보수 해 주는 "영진과학(주)"회사의 작업 스케줄을 분석하여 필요한 도메인과 고객서비스전략과 인력관리전략에서 제약조건을 추출하였고 여기에 스케줄링 문제를 해결하기 위한 방법으로 제약만족문제(CSP) 해결기법인 도메인 여과기법을 적용하였다. 도메인 여과기법은 제약조건에 의해 변수가 갖는 도메인의 불필요한 부분을 여과하는 것으로 제약조건과 관련되어 있는 변수의 도메인이 축소되는 것이다. 또한, 스케줄링을 하는데에 있어서 비용적인 측면에서의 스케줄링방법과 고객 만족도에서의 스케줄링 방법을 비교하여 가장 이상적인 해를 찾는데 트래이드오프(Trade-off)를 이용하여 최적의 해를 구했으며 실험을 통해 인력에게 더욱 효율적으로 작업들을 배정 할 수 있었고 또한, 정해진 시간에 많은 작업을 처리 할 수 있었으며 작업을 처리하는데 있어 소요되는 비용을 감소하는 결과를 얻을 수 있었다. 검증하였다.를, 지지도(support), 신뢰도(confidence), 리프트(lift), 컨빅션(conviction)등의 관계를 통해 다양한 방법으로 모색해본다. 이 연구에서 제안하는 이러한 개념계층상의 흥미로운 부분의 탐색은, 전자 상거래에서의 CRM(Customer Relationship Management)나 틈새시장(niche market) 마케팅 등에 적용가능하리라 여겨진다.선의 효과가 나타났다. 표본기업들을 훈련과 시험용으로 구분하여 분석한 결과는 전체적으로 재무/비재무적 지표를 고려한 인공신경망기법의 예측적중률이 높은 것으로 나타났다. 즉, 로지스틱회귀 분석의 재무적 지표모형은 훈련, 시험용이 84.45%, 85.10%인 반면, 재무/비재무적 지표모형은 84.45%, 85.08%로서 거의 동일한 예측적중률을 가졌으나 인공신경망기법 분석에서는 재무적 지표모형이 92.23%, 85.10%인 반면, 재무/비재무적 지표모형에서는 91.12%, 88.06%로서 향상된 예측적중률을 나타내었다.ting LMS according to increasing the step-size parameter $\mu$ in the experimentally computed. learning curve. Also we find that convergence speed of proposed algorithm is increased by (B+1) time proportional to B which B is the number of recycled data buffer without complexity

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플라즈마 공정 진단을 위한 공간 분해 발광 분광 분석법 소개

  • 박창희;김동희;최성원;이창석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.81-81
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    • 2013
  • 반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

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