High resolution transmission electron microscopy study on the crystallization of the laser annealed amorphous silicon thin films (레이저 열처리된 비정질 실리콘 박막의 결정화에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구)

• 김진혁;이정용
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1993.11a
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  • pp.150-151
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  • 1993
• PDF

A Study of Enhancement of Lateral Crystallization Rate of Amorphous Silicon by Ni and Pd (Pd과 Ni에 의한 비정질 실리콘의 측면 결정화 속도 향상 연구)

• 안평수;이병일;김광호;신진욱;정원철;주승기
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1996.11a
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  • pp.116-116
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  • 1996
• PDF

Field Aided Lateral Crystallization of Amorphous Silicon Films on Glass Substrates (유리 기판상에서의 비정질 실리콘의 전계 유도 방향성 결정화)

• 이재복;양용호;이찬재;김철호;최덕균
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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  • 1999.10a
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  • pp.57-58
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  • 1999
• PDF

High-Resolution Transmission Electron Microscopy Study on the Crystallization of the Amorphous Si1icon Thin Films (고분해능 투과자현미경에 의한 비정질실리콘 박막의 결정화에 관한 연구)

• Kim, Jin-Hyeok;Lee, Jeong-Yong
• • 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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  • 1994.05a
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  • pp.27-27
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  • 1994
• PDF

A Study on the Crystallization Behavior of LppCVD SI films by Low Tempperature Ammealing (: LppCVD 실리콘 박막의 저온 열처리에 따른 결정화 거동에 관한 연구)

• 김철수;한정인;김원근;진용석
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1992.02a
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  • pp.105-105
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  • 1992
• PDF

A study on the fabrication of low-temperature poly-silicon thin film transistors using Field Aided Lateral Crystallization (전계 유도 방향성 결정화를 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구)

• 송경섭;전승익;박상현;최덕균
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1997.10a
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  • pp.85-85
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  • 1997
• PDF

PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser 결정화

• Go, Mu-Sun;Jeong, Hui-Seok;No, Jae-Sang
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2002.06a
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  • pp.83-83
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  • 2002
• PDF

Behavior of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amprphous Silicon Films by Nucleation-Interface-Control (핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화 거동)

• 황의훈;노재상
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1996.05a
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  • pp.48-48
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  • 1996
• PDF

A Study on the Metal Induced Lateral Crystallization Behavior of Ion Mass Doped Amorphous Silicon (이온 질량 주입된 비정질 실리콘의 금속 유도 측면 결정화 거동에 관한 연구)

• 김태경;박철호;이병일;주승기
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1997.05a
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  • pp.107-107
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  • 1997
• PDF

A study on the fabrication of poly-Si TFTs by a new structure metal induced lateral crystallization method (새로운 구조의 금속 유도 측면 결정화에 의한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구)

• 인태형;이병일;주승기
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1997.05a
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  • pp.104-104
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  • 1997
• PDF

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