Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser 결정화

  • 고무순 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 정희석 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 신소재공학과)
  • Published : 2002.06.27
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