Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A study on the fabrication of low-temperature poly-silicon thin film transistors using Field Aided Lateral Crystallization

전계 유도 방향성 결정화를 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구

  • 송경섭 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 전승익 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 박상현 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

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