금속 유기 분자 빔 에피택시로 성장시킨 $HfO_2$ 박막의 특성과 공정변수가 박막의 성장 및 특성에 미치는 영향
(Characteristics and Processing Effects Of $HfO_2$ Thin Films grown by Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.1
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- pp.74-77
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- 2004