Electrical Properties of Ta/$Ta_2O_5$ /Ta Thin Film Capacitor deposited on $Al_2O_3$ Substrate
($Al_2O_3$ 기판 위에 제작된 Ta/$Ta_2O_5$ /Ta 박막 커패시터의 전기적 특성)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2003.07c
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- pp.1502-1504
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- 2003