Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.07c
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- Pages.1502-1504
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- 2003
Electrical Properties of Ta/$Ta_2O_5$ /Ta Thin Film Capacitor deposited on $Al_2O_3$ Substrate
$Al_2O_3$ 기판 위에 제작된 Ta/$Ta_2O_5$ /Ta 박막 커패시터의 전기적 특성
- Kim, Hyun-Ju (Changwon National University) ;
- Song, Jae-Sung (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Kim, In-Sung (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Kim, Sang-Su (Changwon National University)
- Published : 2003.07.21
Abstract
최근 전자기기의 경박단소화 추세는 전자기기의 크기와 가격의 감소를 이끌었으며 이러한 추세는 앞으로 지속될 것이다. 이와 같은 현상으로 전자기기를 구성하는 요소의 절반이상을 차지하는 단위수동소자의 경우 소형화를 넘어 박막화 및 집적화가 절실히 요구되는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 현재 GHz 대역의 휴대용 무선통신 송 수신부 등에 사용되고 있는 기판이
Keywords