Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Development of microthickness sensor

마이크로 두께센서 개발

  • Published : 2003.07.21
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Abstract

회전다면경(Polygon mirror)을 이용한 비접촉식 마이크로 두께 측정센서를 개발하였으며, 측정된 성능은 다음과 같다. 투 수광부 거리: 238mm, 측정 범위: $1{\sim}60mm$, 분해능(표시): $0.1{\mu}m$, 최소검출물체: 1mm, 사용온도: $0{\sim}50^{\circ}$.

Keywords