Effect of Pre-Treatment of Alpha-Ga2O3 Grown on Sapphire by Halide Vapor Phase Epitaxy (HVPE 방법으로 성장된 알파-갈륨 옥사이드의 전처리 공정에 따른 특성 변화)
-
- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
- /
- v.32 no.5
- /
- pp.426-431
- /
- 2019