Conductance technique is the moat accurate method and gives more detailed information about interface of the MIS structure than other methods. With the measurement of the equivalent parallel conductance and capacitance, the characterization of Si-SiN interface is developed. The interface state density of Si-SiN is obtained by $8{\times}10^{11}$ - $6{\times}10^{12}(eV^{-1}cm^{-2}$). After the positive B-T stress is performed on the sample, the interface state density gets increased. The interface state density is not effected by the D.C. stress.
최근 MOS 소자들이 게이트 산화막을 Mono-layer가 아닌 Multi-Layer을 사용하는 추세이다. Bulk와 High-k물질간의 Dangling Bond를 줄이기 위해 Passivation 층을 만드는 것을 예로 들 수 있다. 이러한 Double Layer의 쓰임이 많아지면서 계면에서의 Interface State Density의 영향도 커지게 되면서 이를 측정하는 방법에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 $SiO_2$ Double Layer의 Interface State Density를 Conductance Method를 사용하여 구하는 연구를 진행하였다. Wet Oxidation과 Chemical Vapor Deposition (CVD) 공정을 이용하여 $SiO_2$ Double-layer로 증착한 후 Aluminium을 전극으로 하는 MOS-Cap 구조를 만들었다. 마지막 공정은 $450^{\circ}C$에서 30분 동안 Forming-Gas Annealing (FGA) 공정을 진행하였다. LCR meter를 이용하여 high frequency C-V를 측정한 후 North Carolina State University California Virtual Campus (NCSU CVC) 프로그램을 이용하여 Flatband Voltage를 구한 후에 Conductance Method를 측정하여 Dit를 측정하였다. 본 연구 결과 Double layer (Wet/CVD $SiO_2$)에 대해서 Conductance Method를 방법을 이용하여 Dit를 측정하는 것이 유효하다는 것을 확인 할 수 있었다. 본 실험은 앞으로 많이 쓰이고 측정될 Double layer (Wet/CVD $SiO_2$)에 대한 Interface State Density의 측정과 분석에 대한 방향을 제시하는데 도움이 될 것이라 판단된다.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제5권2호
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pp.83-88
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2005
The interface-states between the top silicon layer and buried oxide layer of nano-SOI substrate were developed. Also, the effects of thermal treatment processes on the interface-state distributions were investigated for the first time by using pseudo-MOSFETs. We found that the interface-state distributions were strongly influenced by the thermal treatment processes. The interface-states were generated by the rapid thermal annealing (RTA) process. Increasing the RTA temperature over $800^{\circ}C$, the interface-state density considerably increased. Especially, a peak of interface-states distribution that contributes a hump phenomenon of subthreshold curve in the inversion mode operation of pseudo-MOSFETs was observed at the conduction band side of the energy gap, hut it was not observed in the accumulation mode operation. On the other hand, the increased interface-state density by the RTA process was effectively reduced by the relatively low temperature annealing process in a conventional thermal annealing (CTA) process.
This paper presents a class of Bayes estimation of component steady-state availability . Throughout this paper, we will denote the mean time between failure and the mean time between repair by MTBF and MTBR respectively. In section 2 , we investigated Bayes estimation of the steady-state availability for noninformative prior density function and in section 3, we compute Bayes estimation for conjugate prior density function.
Kim, Yong-Hee;Hong, Young-June;Choi, Joon-Ho;Cho, Byeong-Seong;Uhm, Han-Sub;Choi, Eun-Ha
Journal of Information Display
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제11권4호
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pp.149-153
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2010
To improve the luminescence characteristics of high-efficiency alternating-current plasma display panels (AC-PDPs), we developed a new hoof-type electrode structure, and we studied the spatiotemporal behavior of the density of the excited Xenon atom in the $1s_5$ metastable state via laser absorption spectroscopy. Using this structure, the maximum density of the excited Xenon atom per cell was improved by 2.4 times that when the conventional electrode structure was used.
Letsoin, Petrus Paulus;Dangeubun, Jane Lulinda;Syahailatua, Diana Yulanda;Pratasik, Silvester Benny
Fisheries and Aquatic Sciences
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제25권8호
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pp.409-416
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2022
This study aims to know the effect of water-extracted horseradish Moringa oleifera leaf and KW21 fertilizer combination application on the density of Nannochloropsis sp. It was conducted in the Natural Food Laboratory of State Polytechnique, Tual. The experiment used complete randomized design with 5 treatments and 3 replications: A (25% horseradish leaf extract + 75% KW21), B (50% horseradish leaf extract + 50% KW21), C (75% horseradish leaf extract + 25% KW21), D (positive control of 100% KW21), and E (negative control of 100% horseradish leaf extract). Results showed that Treatment C yielded the best result, both the highest density of Nannochloropsis sp. and suitable harvest time.
본 연구에서는 보압과정시 급속한 압력구배에 의한 관성항의 영향을 고려하기 위해 수정된 Hele-Shaw 모델과 압축열 발생항, 온도와 압력의 변화에 따른 수지의 밀 도 이완현상에 대한 모델의 도입 및 유한요소법을 이용한 수치해석적 방법을 제시하여 정확한 잔류압력을 구하고 성형조건 및 물성치에 따른 수지의 거동을 살펴보고자 한다.
We study on Argon metastable and 4p state neutral atom density in magnetized ICP Helicon plasmas by Laser Induced Fluorescence and plasma emission. The results show that metastable density is too low at the center of chamber due to significant neutral depletion. Otherwise, 4p state is high at the center of chamber because electron density is very high. Power and pressure dependence of metastable and 4p state neutral atom have been spatially measured in the radial direction of cylindrical chamber.
In this study, the dimensional stability and mechanical properties of bamboo fiber-based composites (BFBCs) were studied at two pressing manufacturing processes, i.e., hot- and cold- pressing, and were compared with three density parameters (1.0, 1.1, and $1.2kg/m^3$). Width swelling ratio (WSR), thickness swelling ratio (TSR), and water absorption ratio (WAR) were calculated for water immersions of 4 and 28 h. WSR, TSR, and WAR for specimens immersed for 28 h were higher than those for 4 h treatment, which shows that the immersion time has a significant influence on the dimensional stabilities of BFBCs. Moreover, the positive linear relations between density and dimensional were observed at both the pressing ways, indicating that the WSR, TSR, and WAR decreased with an increase in the density of BFBCs. The compressive strength, shear strength, modulus of rupture (MOR), and modulus of elasticity (MOE) were determined. The compressive strength, MOR, and MOE of hot-pressed specimens were significantly higher than those for the cold-pressed specimens, which are also directly proportional to density. Moreover, the samples with the highest density of $1.2kg/m^3$ performed high values on mechanical properties in both the manufacturing methods.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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