Warpage and Stress Simulation of Bonding Process-Induced Deformation for 3D Package Using TSV Technology (TSV 를 이용한 3 차원 적층 패키지의 본딩 공정에 의한 휨 현상 및 응력 해석)
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- Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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- v.29 no.5
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- pp.563-571
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- 2012