$H_2$ 캐리어가스가 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성에 미치는 영향
(Effects $H_2$ carrier gas on the mechanical properties of poly 3C-SiC thin films)
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
- /
- pp.89-90
- /
- 2007