Controlling the Diameter Size of Carbon Nanofilaments by the Cyclic on/off Modulation of C2H2/H2/SF6 Flow in a Thermal Chemical Vapor Deposition System (C2H2/H2/SF6 기체들의 싸이클릭 유량 변조를 통한 탄소 나노 필라멘트 직경크기 조절)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.18 no.6
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- pp.481-487
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- 2009