Use of a Rapid Thermal Process Technique to study on the crystallization of amorphous Si films fabricated by PECVD (PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
- /
- pp.2052-2054
- /
- 2005