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Dislocation densities of CMP processed sapphire wafers for GaN epitaxy

  • 황성원;남정환;신귀수;김근주;서남섭
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
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    • pp.18-22
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    • 2003
  • The sapphire wafers for blue light emitting devices were manufactured by the implementation of the surface machining technology based on micro-tribology. This process has been performed by grinding, lapping and polishing. The surfaces of sapphire wafers were mechanically affected by residual stress and surface default. This mechanical stress and strain can be cured by thermal anneal ing process. The sapphire crystalline wafers were annealed at $1100~1400^{\circ}C$ and then characterized by double crystal X-ray diffraction. The sample showed good quality of crystalline wafer surface wi th full width at hal f maximum of 16 arcsec for the 4-hour heat-treatment at $1300^{\circ}C$.

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인간 배아 줄기세포와 암 세포에서의 C6orf62의 발현 패턴 (Expression of C6orf62 in Human Embryonic Stem Cells and Cancer Cells)

  • 유한나;류중기;최성준;김진경
    • Reproductive and Developmental Biology
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    • 제34권3호
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    • pp.229-233
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    • 2010
  • Pluripotency and self-renewal capacity of human embryonic stem cells (hESCs) are retained by hESCs related genes as OCT4, SOX2 and NANOG. These genes are shown high expression level in diverse cancer cells and have potential role in the carcinogenesis. On the contrary to this, several genes which are up-regulated in the differentiated hESCs are involved to suppress the carcinogenesis or proliferation of cells. We discovered several genes in immortalized lung fibroblast (WI-38 VA13) by suppression subtractive hybridization. Among them, we focused chromosome 6 open reading frame 62 (C6orf62) which is uncharacterized, mapped to 6p22.3 and generated to Hepatitis B virus X-transactivated proteins (HBVx-transactivated proteins, XTP). Aim of this study was to characterize C6orf62 through analyzing of expression pattern in various cell lines. Expression of C6orf62 was significantly upregulated in diverse normal cell lines than cancer cell lines. And C6orf62 was up-regulated in differentiated hESCs (endothelial cells, neural cells) compared to those of undifferentiated hESCs. Also, C6orf62 in WI-38 cells was highly up-regulated during G1/S transition of the cell cycle. Taken together, C6orf62 is shown expression pattern similar to differentiated hESCs-associated genes which down-regulated in cancer cells. Therefore, we assume that C6orf62 may participate to suppress the proliferation and to induce differentiation through regulating the cell cycle.

USRP 장치를 이용한 동일대역 전이중 무선통신 연구 (In-Band Full-Duplex Wireless Communication Using USRP)

  • 박하은;윤지용;김영식
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제30권3호
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    • pp.229-235
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    • 2019
  • 본 논문은 동일 대역 전이중 무선 통신 시스템의 구현에 관한 연구이다. 아날로그 RF 영역의 신호는 분리된 안테나를 이용하여 자기간섭 신호 크기를 줄이고, 디지털 영역은 SDR(Software Defined Radio)을 통해 자기간섭 신호를 제거하여 동일 대역 전이중 무선 통신 방식을 구현하였다. USRP X310 장치에 송신단의 안테나와 수신단의 안테나를 각각 사용하였으며, SDR 장치의 송수신단의 이득을 조절하여 수신단의 안테나로 들어오는 자기간섭 신호의 크기와 외부에서 수신하고자 하는 신호의 크기를 -64 dB으로 동일하게 설정하였다. 전이중 무선 통신 성능을 검증하기 위하여 소스데이터는 이미지를 사용하였으며 변조 방식은 OFDM 방식을 사용하였다. 반송파 주파수는 2.67 GHz, 대역폭은 20 MHz인 WiFi 표준 프레임을 사용하였다. 수신 신호에서 자기간섭 신호는 디지털 신호처리로 상쇄하였으며, 최대 34 dB까지 자기간섭 신호를 제거하였다. 자기간섭 신호를 제거하지 않았을 때는 OFDM 복조가 불가능하였다. 하지만 자기간섭 신호 제거량의 크기를 변화시켜가면서 BER을 측정한 결과, 자기간섭 신호를 34 dB 제거한 경우 BER이 $2.63{\times}10^{-5}$로 줄어들었고, 비터비 복호기(Viterbi decoder)를 통과한 결과, 100 Mbit data 송출량 동안 에러가 검출되지 않았다.

$YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 결정입계 접합을 이용한 마이크로파 감지소자 (Microwave Detector Using $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ Grain Boundary Junction)

  • 신중식;조창현;황두섭;김영근;위당문;천성순;신우석;배성준;홍승범
    • 한국재료학회지
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    • 제4권6호
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    • pp.681-686
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    • 1994
  • $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$결정입계 접합을 이용한 마이크로파 감지소자 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$초전도체 박막을 화학증착법을 이용하여 $LaAIO_{3}$단결정 위에 증착하여 임계온도 90K이상 임계전류밀도 $10^5/A \textrm{cm}^2$(77K) 이상의 우수한 박막을 제작하였다. 이를 포토작업과 이온밀링을 실시하여 수 마이크로미터 크기의 브릿지 형태로 만든 후 이들의 전류전압 특성을 조사하였다. 브릿지에 입사된 마이크로파의 크기에 따라 브릿지 간의 임계전류값의 저하가 관찰되었으며 동시에 샤피로스텝을 관찰할 수 있었다.

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수용액에 분산된 ZnO 분말의 laser ablation에 의한 ZnO 나노입자의 생성 (Preparation of ZnO Nanoparticles by Laser Ablation of Dispersed ZnO Powder in Solution)

  • 강위경;정영근
    • 대한화학회지
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    • 제50권6호
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    • pp.440-446
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    • 2006
  • 액체상태에 분산된 ZnO 분말을 레이저 ablation 시켜 ZnO 나노입자를 생성하였고, 계면활성제에 따른 생성된 나노입자의 특성을 비교하였다. 생성된 나노 입자는 UV-VIS 흡광 스펙트럼과 X-ray 회절 스펙트럼으로 순수한 ZnO 결정 상태를 나타냄을 확인하였으며, 전자투과 현미경 사진으로 나노입자의 크기, 크기 분포 및 모양을 관찰하였다. 순수한 물에서 얻어진 ZnO 나노입자의 밴드 갭 에너지는 3.35 eV로 bulk ZnO와 비슷한 값을 나타내었으며, 평균 크기는 27 nm로 막대모양의 입자들이 주로 생성되었다. SDS 용액에서 얻어진 ZnO 나노입자는 입자 크기가 평균 28 nm인 주로 구형에 가까운 형태를 가졌으며 CTAB 용액에서 나노입자는 막대 모양의 형태가 많으며 평균 크기가 40 nm 이었다. CTAB 용액에서 만들어진 ZnO 나노입자는 SDS 용액에서 만들어진 ZnO 나노입자 보다 더 안정하였다. 이러한 계면활성제에 따른 ZnO 나노입자의 크기 및 모양, 그리고 안정성의 차이는 ZnO와 계면활성제 사이의 전하 극성 차이로 인한 정정기적 인력과 용매화 차이로 설명할 수 있었다.

넙치 간에 있어 가수분해 효소의 부분정제 및 특성규명 (Partial purification and characterization of phosphatidylcholine hydrolyzing enzyme from liver membrane of flounder , Paralichtys olivervaceus)

  • 이상환;서정수;김나영;엄혜경;위효진;박성일;정준기
    • 한국어병학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.131-137
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    • 2004
  • 본 실험은 넙치 (Paralichthys olivaceus) 간으로부터 membrane부분에 존재하는 PC 가수분해 효소의 특성에 대해 조사하였다. 먼저 간 조직을 초고속 원심 분리기와 nonion-detergent인 1% triton X - 100을 이용하여 membrane 부분을 분리하였으며, Heprain-Sepharose CL-6B 칼럼과 Heparin-5PW 칼럼을 이용하여 분리정제 하였다. 얻어진 PC 가수분해효소에 대한 반응 ․ 생성물을 확인하기 위해 autoradiography를 실시하였다. 지용성 부분의 결과에서 transphosphatidylation 반응의 결과물인 PEtOH을 형성하는 것으로 보아 PC-PLD임을 알 수 있었다. 얻어진 PC 가수분해효소에 대한 생화학적 특성을 조사한 결과 적정 pH가 6.5이하인 산성 조건 및 $37^\circ{C}$의 배양온도에서 최고 활성을 나타내었으며, 이가 이온들에 대한 영향의 경우 칼슘은 1.67mM 농도에서 최고 활성을 나타냈으나, 마그네슘은 활성에 영향을 미치지 않았다. 각종 세포막 기질에 대한 영향을 조사한 결과 PC는 $0.75\mu{M}$, PIP2는 $2.35\mu{M}$, PE는 $26.8\mu{M}$ 농도에서 최고 활성을 나타내었다. 이상의 결과부터 넙치 간조직의 막층부분에 존재하는 PC를 가수분해효소는 PC-PLD가 존재함을 알 수 있었다.

반도체 레이저 여기 펨토초 Cr:LiSAF 레이저 (A femtosecond Cr:LiSAF laser pumped by semiconductor lasers)

  • 박종대
    • 한국광학회지
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    • 제11권5호
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    • pp.360-364
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    • 2000
  • 반도체 포화 흡수거울 (Semiconductor Saturable Absorber Mirror:SESAM)을 이용하여 Cr:LiSAF 레이저를 제작하고 이를 모드록킹 시켰다. 펌핑 레이저는 파장이 667 nm이고, 출력이 500mW인 두 대의 고출력 레이저(Coherent S-67-500C-100-H)가 사용되었으며, 레이저 결정은 Brewster-Brewster 모양인 $Cr^{+3}$의 농도가 1.5%이고 길이가 6mm인 것을 사용하였다. 공진기는 X-형 구조로, 곡률반경이 10cmdls 오목거울과, 군속도 보상을 위한 SF10 프리즘, 투과율이 1%의 출력거울을 사용하였다. 포화흡수체로 사용되는 SESAM의 구조는 맨위층에 10nm의 $AlAs/Al_{0.15}Ga_{0.85}As$ 양자우물과 30쌍의 $AlAs/Al_{0.15}Ga_{0.85}As/GaAs/Al_{0.15}Ga_{0.85}As$반사경으로 구성되어 있다. 펌핑 레이저의 출력이 800mWdlfEo 레이저 출력은 3mW였고, 중심파장은 833nm이었으며 스펙트럼 대역폭은 4nm, 레이저 펄스폭은 220fs 였다.

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감나무 과실내(果實內)에 있어서 Tannin, 당(糖) 및 백질(白質)의 시기적(時期的) 변화(變化) (Seasonal Variation in Tannin, Sugar and Protein Contents of Persimmon Fruits)

  • 위흡
    • 한국산림과학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.1-11
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    • 1971
  • 본실험(本實驗)은 전북지방(全北地方)에 생육(生育)하고 있는 감나무 5품종(品種)(당유(當有), 월하(月河), 갑주백목(甲州百目), 평무핵(平無核) 및 흑시(黑杮))과 고욤을 실험재료(實驗材料)로 하여 및 과실내(果實內)에 있어서의 Tannin, 당(糖)및 단백질함량(蛋白質含量)의 시기적변화(時期的變化)를 L$\ddot{o}$wenthal법(法), Bertrand법(法) 및 Microkjeldahl법(法)에 의(依)하여 각각(各各) 측정(測定)하였으며 그 결과(結果)는 다음과 같이 요약(要約)된다. 1. 각품종(各品種)에 있어서 Tannin의 최대함량(最大含量)은 당유(當有) 4% 월하(月河) 5.46%, 갑주백목(甲州百目) 5.41%, 평무핵(平無核) 5.1%, 흑시(黑杮) 9.2%, 고욤 26.01%임으로 Tannin재료(材料)로서 이용(利用)코자 할 때는 고욤과 흑시(黑杮)가 적합(適合)한 것 같다. 2. 감에서 Tannin융 추출(抽出) 이용(利用)코자 할 때는 7월상순(月上旬)부터 7월(月) 하순(下旬)사이에 채취(採取) 이용(利用)함이 좋을 것 같으며, 고욤은 8월(月) 중순(中旬)에 채취(採取) 이용(利用)하는 것이 좋을것 같다. 3. 감에 있어서 전당(全糖)의 변화(變化)는 직선적(直線的)으로 증가(增加)하고 있으며, 품종별(品種別) Linear regression은 다음과 같다. 당유(當有): $\hat{Y}=0.2394x+3.861$ 월하(月河) : $\hat{Y}=0.3093x-1.148$ 갑주백목(甲州百目) : $\hat{Y}=0.3173x-1.3708$ 평무핵(平無核) : $\hat{Y}=0.2796x+0.982$ 흑시(黑杮) : $\hat{Y}=0.3233x-3.242$ 고욤 : $\hat{Y}=0.1555x-4.780$ 4. 품종별(品種別) 단백질(蛋白質)의 년(年) 평균함량(平均含量)은 당유(當有) 5.32%, 갑주백목(甲州百目) 4.97%, 고욤 4.49%, 월하(月河) 4.11%, 흑시(黑杮) 4.02%, 평무핵(平無核) 3.6%이다. 5. 단백질량(蛋白質量)은 결실(結實) 당시(當時)에 가장 많은 양(量)을 함유(含有)하나, 성숙기(成熟期)에 이름에 따라 떨어지는 경향(傾向)이다.

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사이버나이프 6-D Skull Tracking의 유용성 평가 (The variability of 6-D Skull Tracking(6DST) in Cyberknife for Bone metastasis patients)

  • 이건호;배선명;송흥권;백금문
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제30권1_2호
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    • pp.41-47
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    • 2018
  • 목 적 : 사이버나이프(Accuray Inc., Sunnyvale, CA)를 이용한 제1, 2경추의 정위체부방사선치료(Stereotactic Body Radiation Therapy, SBRT)시 사용가능한 Xsight Spine Tracking(XST)과 6-Dimensional Skull Tracking(6DST)의 비교를 통해 6DST의 유용성을 평가하고자 한다. 대상 및 방법 : 2017년 1월부터 9월까지 본원에서 사이버나이프를 이용하여 제1, 2경추에 SBRT를 진행한 환자 9명을 대상으로, 전산화단층촬영장치(Lightspeed VCT 64, General Electric Co. Waukesha, WI, USA)를 이용해서 컴퓨터 단층 영상(Computed tomography) 을 획득한 후 전산화치료계획시스템(Multiplan system Version 4.6, Accuray, US)를 이용해 제 1, 2경추에 대한 XST와 6DST가 가능한 계획을 수립하였다. 1차 영상 유도를 통해 환자 자세를 보정한 후 동일 환자에 대한 XST와 6DST를 순서대로 진행하고 측정된 결과값을 비교 평가하였다. 결 과 : 제1경추를 대상으로 XST을 실시한 후 측정된 6D Couch 의 Y, Z, X 축 값과 Roll, Pitch, Yaw 값 중 최대값은 0.9 mm, 0.9 mm, 0.7 mm과 $1.0^{\circ}$, $1.0^{\circ}$, $1.2^{\circ}$로 측정되었고, 6DST의 경우 0.7 mm, 0.7 mm, 0.9 mm과 $0.5^{\circ}$, $0.9^{\circ}$, $0.8^{\circ}$로 측정되었다. 제2경추의 XST를 실시했을 때 측정된 값 중 최대값은 0.7 mm, 0.7 mm, 0.8 mm과 $0.9^{\circ}$, $1.0^{\circ}$, $1.8^{\circ}$였고, 6DST의 경우 0.9 mm, 0.7 mm, 0.9 mm와 $0.9^{\circ}$, $0.9^{\circ}$, $1.0^{\circ}$로 측정되었다. 결 론 : 이번 연구를 통해서 제 1, 2 경추에 대한 XST와 6DST의 6D Couch 측정값이 모두 본원에서 기준으로 하고 있는 범위 안에서 측정되고 있음을 확인할 수 있었다. 또한 두 방법을 진행하는 과정에서 설정값 변경을 진행해야하는 XST보다 6DST가 영상유도절차를 간소화 시킬 수 있다는 것을 확인할 수 있었다. 따라서 제 1, 2 경추에 대한 SBRT를 진행할 경우 XST와 더불어서 6DST를 사용한다면 정확한 치료와 더불어서 치료 시간을 단축시킬 수 있을 것으로 사료된다.

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기판 온도에 따른 Cl2/BCl3/Ar 플라즈마에서 ZrO2 박막의 건식 식각 (Temperature effect on Dry Etching of ZrO2 in Cl2/BCl3/Ar Plasma)

  • 양설;하태경;위재형;엄두승;김창일
    • 한국표면공학회지
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    • 제42권6호
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    • pp.256-259
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    • 2009
  • The wafer surface temperature is an important parameter in the etching process which influences the reaction probabilities of incident species, the vapor pressure of etch products, and the re-deposition of reaction products on feature surfaces. In this study, we investigated all of the effects of substrate temperature on the etch rate of $ZrO_2$ thin film and selectivity of $ZrO_2$ thin film over $SiO_2$ thin film in inductively coupled plasma as functions of $Cl_2$ addition in $BCl_3$/Ar plasma, RF power and dc-bias voltage based on the substrate temperature in range of $10^{\circ}C$ to $80^{\circ}C$. The elements on the surface were analyzed by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS).