We developed the ion plating system, consisted of the Facing Target Magnetron Sputtering System and the r.f, electrode of the coil type, which was available to control the reactive and the adhesion between thin film and substrate, and studied about the discharge characteristics and the optimum condition in order to form the high quality thin film. The characteristics of discharge and plasma was measured as Double Probe and Electrostatic Retarding Grid Analyzer. The incident ion energy on the substrate was increased as the increasing r.f power, bias voltage. By the r.f electrode, the ionization rate of the sputtered particles was about 75%, and the mean incident ion energy depend on the value which was difference between the plasma potential and biased substrate potential.
This paper proposes an advanced circuit for the capacitive type fingerprint sensor signal processing and an effective isolation structure for minimizing an electrostatic discharge(ESD) influence and for removing a signal coupling noise of each sensor pixel. The proposed detection circuit increases the voltage difference between a ridge and valley about $80\%$ more than old circuit. The test chip is composed of $160\;\times\;192$ array sensing cells $(9,913\times11,666\;um^2).$ The sensor plate area is $58\;\times\;58\;um^2$ and the pitch is 60um. The image resolution is 423 dpi. The chip was fabricated on a 0.35um standard CMOS process. It successfully captured a high-quality fingerprint image and performed the registration and identification processing. The sensing and authentication time is 1 sec(.) with the average power consumption of 10 mW at 3.0V. The reveal ESD tolerance is obtained at the value of 4.5 kV.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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v.4
no.2
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pp.83-87
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2004
Phase noise performance and current consumption of Radio Frequency (RF) Voltage-Controlled Oscillator (VCO) are largely dependent on the Quality (Q) factor of inductor-capacitor (LC) tank. Because the Q-factor of LC tank is determined by on-chip spiral inductor, we designed, analyzed, and modeled on-chip differential inductor to enhance differential Q-factor, reduce current consumption and save silicon area. The simulated inductance is 3.3 nH and Q-factor is 15 at 2 GHz. Self-resonance frequency is as high as 13 GHz. To verify its use to RF applications, we designed 2 GHz differential LC VCO. The measurement result of phase noise is -112 dBc/Hz at an offset frequency of 100 kHz from a 2GHz carrier frequency. Tuning range is about 500 MHz (25%), and current consumption varies from 5mA to 8.4 mA using bias control technique. Implemented in $0.35-{\mu}m$ SiGe BiCMOS technology, the VCO occupies $400\;um{\times}800\;um$ of silicon area.
In this paper, we describe a capacitive position sensing and motion control scheme of a MEMS scanner used for laser display application. The laser displays can be made by scanning laser beams much the same way a CRT scans electron beams. So the accuracy of the scanner motion determines the quality of the displayed image. The MEMS scanner under consideration is composed of electrostatic comb electrodes with initial gap and requires large driving voltage. Due to the under-damping and nonlinear driving characteristics, the scanner motion is subject to be an unwanted oscillation. For the linear scanner motion, we devise a differential charge amplifier and phase compensator. The experimental results show that the implemented feedback control system provides sufficient electrical damping and improves the dynamic performance of the scanner.
This paper presents the design and fabrication of a LC voltage-controlled oscillator (VCO) using 1-poly 6-metal mixed signal CMOS process. To obtain the high-quality factor inductor in LC resonator, patterned-ground shields (PGS) is placed under the symmetric inductor to reduce the effect from image current of resistive Si substrate. Moreover, due to the incapability of using thick top metal layer of which the thickness is over $2{\mu}m$, as used in many RF CMOS process, the structure of dual-metal layer in which we make electrically short circuit between the top metal and the next metal below it by a great number of via materials along the metal traces is adopted. The circuit operated from 2.63 GHz to 3.09 GHz tuned by accumulation-mode MOS varactor. The corresponding tuning range was 460 MHz. The measured phase noise was -115 dBc/Hz @ 1MHz offset at 2.63 GHz carrier frequency and the current consumption and the corresponding power consumption were about 2.6 mA and 4.68 mW respectively.
In this paper, we present a systematic method of extracting the input parameters of poly-Si TFT(Thin-Film Transistor) for Spice simulations. This method has been applied to two different types of poly-Si TFTs such as ELA (Excimer Laser Annealing) and SMC (Silicide Mediated Crystallization) with good fitting results to experimental data. Among the Spice circuit simulators, the PSpice has the GUI(graphic user interface) feature making the composition of complicated circuits easier. We added successfully the poly-Si TFT model of AIM-Spice to the PSpice simulator, and analyzed easily to compare the electrical characteristics of pixels without or with the line RC delay. In the comparative results, the ELA poly-Si TFT is superior to the SMC poly-Si TFT in the charging time and the kickback voltage for the TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display).
The field emission characteristics of defective diamond films grown by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPECVD) have been studied. X-ray diffraction, the poor crystal quality and/or small grain sizes of the diamond phase and the inclusion of the non-diamond carbon phases in these films have been condirmed by raman spectroscopy, scanning electron microscopy, atomic force microscopy, and the reflectance measurements. The degrees of the film defectiveness and the emission characteristics were dependent on the methane concentration. Current-versus-voltage measurements have demonstrated that the defective diamond films have good electron emission characteristics. characteristics strongly suggests the defect-related electron-emission mechanism. The defective diamond films deposited on Si substrates show the field emission current density of 1$\mu\textrm{A}/\textrm{cm}^2$ and 1mA/$\textrm{cm}^2$ have been measured at electric fields as low as 4.5V/$\mu\textrm{m}$ and 7.6V/$\mu\textrm{m}$, respectively. We also observed the similar emission characteristics from the defective diamond film deposited on Cr/Si substrate and could decrease the deposition temperature to $600^{\circ}C$.
The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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v.5
no.5
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pp.498-503
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2010
Recently, the industrial electric customers require a digital switchgear which can improve the safety and reliability of the power supply, and the quality of electric power by on-line monitoring the electric power information based on the internet under the ubiquitous environments. Accordingly, in this paper, a industrial switch-gear prototype is designed based on the power supply method of three phase, four-line type, and then a three-phase electric management module of the digital switchgear is made for industrial electric customer system. Finally, the three-phase voltage and current measuring function of the prototype is verified from real power load test.
Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.20
no.3
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pp.12-19
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2006
Micro-source units having power ratings in thousands of watts can provide power quality with higher reliability and efficiency than the conventional large scale units. This paper develops switching level model of micro-source and studies the characteristics of the micro-grid consisting of multiple micro-sources and interfaced with electric power system. The developed model adopts the space vector PWM to fully utilize the capacity of inverter. The interaction of the grid connected micro-sources and the characteristics of the control system parameters are investigated. Micro-sources and micro-grid are implemented using PSCAD/EMTDC. Simulation results show that the proposed model is efficient for studying micro-grid system.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.30
no.4
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pp.218-222
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2017
In this paper, in order to develop excellent composition ceramics for a piezoelectric energy- harvesting device, we synthesized $0.99(Na_{0.52}\;K_{0.443}\;Li_{0.037})(Nb_{0.883}\;Sb_{0.08}\;Ta_{0.037})O_3$ + $0.01(Sr_{0.95}Ca_{0.05})TiO_3$ + $0.3\;wt%\;Bi_2O_3\;+\;0.3\;wt%\;Fe_2O_3\;+\;0.3\;wt%\;CuO$ (abbreviated as NKN-SCT) ceramics with different sintering times, using the ordinary solid-state reaction method. The effect of sintering time on the microstructure and piezoelectric properties was investigated. The ceramics with the sintering time of 7 h have the optimum values of the piezoelectric constant ($d_{33}$), piezoelectric voltage constant ($g_{33}$), planar piezoelectric coupling coefficient (kp), mechanical quality factor (Qm), and dielectric constant (${\varepsilon}r$): $d_{33}=314[pC/N]$, $g_{33}=20.07[10^{-3}mV/N]$, kp = 0.442, Qm = 93, ${\varepsilon}r=1,768$, all being suitable for a piezoelectric energy-harvesting device.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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