• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.103-103
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• 2009

본 논문에서는 기존의 GST(GeSbTe=2:2:5)와 비교하여 상변화 재료로서의 Ga 도핑된 $Ge_2Sb_2Te_5$의 가능성을 확인하고자 하였다. 실험에 사용된 Ga 도핑된 $Ge_2Sb_2Te_5$ 박막은 전통적 melt-quenching 방법에 의해 비정질로 제작된 벌크를 Thermal evaporation을 통하여 Si(100) 및 유리 (coming glass, 7059) 기판 위에 200nm의 두께로 증착하여 제작하였다. 각 박막의 상변화 특성은 여러 온도에서 열처리된 박막을 X-ray diffraction (XRD) 측정을 통하여 확인하였다. 각 조성 박막의 비정질-결정질 상변화속도 비교를 위하여 나노-펄스 스캐너 (nano-pulse scanner)를 사용하여 power; 1~17mW, pulse duration; 10~460ns 범위에서 박막의 상변화에 따른 반사도 차이를 측정 분석하였다. Ga의 도핑농도에 따른 전기적 특성 차이를 확인하기 위하여 4-point probe를 이용하여 박막의 면 저항을 측정하였고 또한 hall 측정을 통하여 박막의 흘 계수, 흘 농도 및 이동도를 확인하고 Ga가 상전이에 미치는 영향에 대하여 분석하였다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제29권6호
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• pp.707-712
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• 2005

PRAM (Phase change random access memory) is one of the most promising candidates for next generation Non-volatile Memories. The Phase change materials have been researched in the field of optical data storage media. Among the phase change materials. $Ge_2Sb_2Te_5$ is very well known for its high optical contrast in the state of amorphous and crystalline. However the characteristics required in solid state memory are quite different from optical ones. In this study. the structural Properties of GeSbTe thin films with composition were investigated for PRAM. The 100-nm thick $Ge_2Sb_2Te_5$ and $Sb_2Te_3$ films were deposited on $SiO_2/Si$ substrates by RF sputtering system. In order to characterize the crystal structure and morphology of these films. x-ray diffraction (XRD). atomic force microscopy (AFM), differential scanning calorimetry (DSC) and 4-point measurement analysis were performed. XRD and DSC analysis result of GST thin films indicated that the crystallization of $Se_2Sb_2Te_5$ films start at about $180^{\circ}C$ and $Sb_2Te_3$ films Start at about $125^{\circ}C$.

• 한국분말재료학회지
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• 제19권4호
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• pp.285-290
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• 2012

The present study was focused on the analysis of the electric and thermal properties of spark plasma sintered $Bi_{0.5}Sb_{1.5}Te_3$ thermoelectric material. The crystal structure, microstructure, electric and thermal properties of the sintered body were evaluated by measuring XRD, SEM, electric resistivity, Hall effect and thermal conductivity. The $Bi_{0.5}Sb_{1.5}Te_3$ sintered body showed anisotropic crystal structure. The c-axis of the $Bi_{0.5}Sb_{1.5}Te_3$ crystal aligned in a parallel direction with applied pressure during spark plasma sintering. The degree of the crystal alignment increased with increasing sintering temperature and sintering time. The electric resistivity and thermal conductivity of the $Bi_{0.5}Sb_{1.5}Te_3$ sintered body showed anisotropic characteristics result from crystal alignment.

• 대한전자공학회논문지
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• 제5권3호
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• pp.1-8
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• 1968

이 열전발전기는 Bi계화합물 반도체 Sb2Te3 및 소량의 불순물을 함유한 ZnSb를 사용하여 실험한 것으로 열기전력 α, 비저항ρ, 열전도율k 및 고온부의 온도차를 측정하였다. 특성은 다른 재료를 사용한 열전발전기보다 Sb2Te3+Bi2Se3와 Bi3Te2+Sb2Te3를 소자로 사용한 경우 효율이 우수하였으며 이의 효율은 1.42%였다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제25권5호
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• pp.329-333
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• 2012

For phase transition method, good record sensitivity, low heat radiation, fast crystallization and hi-resolution are essential. Also, a retention time is very important part for phase-transition. In our past papers, we chose composition of $Ge_1Se_1Te_2$ material to use a Se factor which has good optical sensitivity than conventional Sb. Sb/Ge-Se-Te thin films are fabricated and irradiated with UV light source to investigate a reversible phase change by Sb-doped condition. Because of Sb atoms, the Sb inserted sample showed better performance than conventional one. We should note that this novel one showed another possibility for phase-change random access memory.

• 한국분말재료학회지
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• 제3권4호
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• pp.246-252
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• 1996

$Bi_{2}Te_{3}-Sb_{2}Te_{3}$, $Bi_{2}Te_{3}-Bi_{2}Se_{3}$ solid solutions are of great interest as materials for thermoelectric energy conversion. One of the key technologies to ensure the efficiency of thermoelectric device is to obtain chemically homogeneous solid solutions. In this work, the new process with rapid solidification followed by hot pressing was investigated to produce homogeneous thermoelectric materials. Characteristics of the materials were examined with XRD, SEM, EPMA-line scan and bending test. Property variations of the materials were investigated as a function of variables, such as excess Te quantity and hot pressing temperature. Quenched ribbons are very brittle and consisted of homogeneous $Bi_{2}Te_{3}$, $Sb_{2}Te_{3}$ solid solutions. When the process parameters were optimized, the maximum figure of merit was 3.073$\times$$10^{-3}K^{-4}$. The bending strength of the material, hot pressed at 45$0^{\circ}C$, was 5.87 kgf/${mm}^2$.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.330.1-330.1
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• 2014

개인용 노트북, 태블릿 PC, 핸드폰 기술 발전에 의해 언제 어디서나 데이터를 작성하고 기록하는 일들이 가능해졌다. 특히 cloud 시스템을 이용하여 데이터를 휴대기기에 직접 저장하지 않고 server에 기록하는 일들이 가능해짐에 따라 server 기기의 성능, server-room power 및 space 에 대한 관심이 증가하였다. Storage class memory (SCM) 이란 memory device와 storage device의 장점을 결합한 memory를 일컫는 기술로 현재 소형 디바이스 부분부터 점차 그 영역을 넓히고 있다. 그중 phase change material을 이용한 phase change memory (PCM) 기술이 가장 각광받고 있다. PCM의 경우 scaling됨에 의해 cell간의 열 간섭으로 인한 data 손실의 우려가 있어 cell의 면적을 최소화 하여 소자를 제작하여야 한다. 기존의 sputtering등의 PVD 방법으로는 한계가 있어 ALD 공정을 이용한 PCM에 대한 연구가 활발히 진행중이다. 특히 tellurium 원료기체로 silyl 화합물 [1]을 사용하여 주로 $Ge_2Sb_2Te_5$의 조성에 초점을 맞춰 진행되고 있으나, 세부 공정에 대한 기본적인 연구는 미비하다. 본 연구에서는 Ge-Sb-Te 3원계 박막을 형성하기 위한 Sb-Te 화합물의 증착 공정에 대한 연구를 수행하였다. 특히 원료기체로 Si이 없는 새로운 Te 원료기체를 이용하여 조성 조절을 하였고, 박막의 물성을 분석하였다. 또한 공정온도에 따른 박막의 물성 변화를 분석하였다.

• 정보저장시스템학회논문집
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• 제1권1호
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• pp.34-41
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• 2005

We report some recent results in the rewritable Blu-ray Disc with enhanced overwrite cyclability by using the growth dominant eutectic based Ge(Sb70Te30)+Sb recording layer, GeN interface layer and write strategy optimization. We have developed phase-change optical media with appropriate write strategy for 36(i.e., 1X)-72Mbps(i.e., 2X) dual speed Blu-ray Disc system and fur the future high speed optical data storage. For recording layer, eutectic-based Ge(Sb70Te30)+Sb material was used and Sb/Te ratio and Ge content were optimized to obtain proper erasability and archival stability of recorded amorphous marks. The recording layer is wrapped up in GeN interface layers to obtain overwrite cyclability and higher crystallization speed. In addition, we designed appropriate write strategy so called Time-Shifted Multipulse (TSMP) write strategy where starting position of multipulse parts are shined from reference clock. With this write strategy, the jitter characteristics of the disc was improved and we found that leading edge jitter was improved much more than trailing edge jitter in 1X-2X speed recording. Finally, we investigated the higher speed feasibility of 144Mbps(i.e., 4X) by adopting some elemental doping to the eutectic based Ag-In-Sb-Te recording layer and structural optimization of constitution layers in Blu-ray Disc. In the paper, we report the effect of Sn addition for the feasibility of higher speed recording. The addition of Sn shows increases of the crystallization speed of phase change recording layer.

• 한국진공학회지
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• 제3권3호
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• pp.309-315
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• 1994

순간증착법으로 p형(Bi0.5Sb1.5Te3)과 n형(Bi2Te24Se0.6)열전박막을 제조하여 상온에서 Seebeck 계 수, 전기전도도 및 열전성능지수를 측정하였다. 또한 금속재 mask를 이용하여 다중접점 박막형 열전소 자를 제작하고 그 작동특성을 조사하였다. 이때 소자의 고온부와 저온부의 온도를 직접측정하기 위하여 copper/constantan 박막을 접점부에 증착하여 열전쌍이 되게 하였다. p/n 접점이 5쌍이 소자의 경우 Peltier 효과에 의해 생성된 최대온도차는 22K이었다.

• 한국분말야금학회:학술대회논문집
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• 한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part2
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• pp.1223-1224
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• 2006

The p-type $(Bi_{0.2}Sb_{0.8})_2Te_3/(Pb_{0.7}Sn_{0.3})$Te functional gradient material (FGM) was fabricated by hot-pressing the mechanically alloyed $(Bi_{0.2}Sb_{0.8})_2Te_3$ and the 0.5 at% $Na_2Te-doped$ $(Pb_{0.7}Sn_{0.3})Te$ powders. Also, the n-type $Bi_2(Te_{0.9}Se_{0.1})_3/PbTe$ FGM was processed by hot-pressing the mechanically alloyed $Bi_2(Te_{0.9}Se_{0.1})_3$ and the 0.3 wt% Bi-doped PbTe powders. With ${\Delta}T$ larger than $300^{\circ}C$, the p-type $(Bi_{0.2}Sb_{0.8})_2Te_3/(Pb_{0.7}Sn_{0.3})Te$ FGM exhibited larger thermoelectric output power than those of the $(Bi_{0.2}Sb_{0.8})_2Te_3$ and the 0.5 at% $Na_2Te-doped$ $(Pb_{0.7}Sn_{0.3})Te$ alloys. For the n-type $Bi_2(Te_{0.9}Se_{0.1})_3/PbTe$ FGM, the thermoelectric output power superior to those of the $Bi_2(Te_{0.9}Se_{0.1})_3$ and the 0.3 wt% Bi-doped PbTe was predicted at ${\Delta}T$ larger than $300^{\circ}C$.