RF magnetron sputtering 법에 의한 $RuO_2$ 박막의 제조와 물성에 관한 연구 (A Study on the Formation and Properties of $RuO_2$ Thin Films by RF magnetron Sputtering)

• 최재용;심규하;최덕균
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1994년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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  • pp.27-27
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  • 1994
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RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성 (The Preferred Orientation Growth of Aluminum Nitride Thin Films deposited by RF Magnetron Sputtering)

• 진덕용;최대규;이창엽
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.153-153
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  • 1999
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RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구 (The Studies of Electrical and Microstructural Properties of Transparent Conductive Thin Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering Method)

• 전용수;김성수
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.124-124
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  • 1999
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RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성 (The Crystal Structure and Optical Properties of $TiO_2$Thin Film using RF Magnetron Sputtering)

• 강계원;이영훈;곽재찬;노재승;최병호
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.180-180
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  • 2001
• PDF

RF Magnetron Sputtering에 의해 중독된 Ni-Zn-Cu Ferrite 박막의 물성에 미치는 기판의 영향 (Effects of the Subsrates on the Proterties of Ni-Zn-Cu Ferrite Thin Films deposited by RF Magnetron Sputtering)

• 김민홍;조해석;공선식;김형준
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
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  • pp.132-133
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  • 1992
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RF Magnetron Sputtering 으로 형성시킨 PZT 박막 특성 연구 (A study on the property of PZT Thin Film by RF magnetron sputtering)

• 하용해;백수현;백상훈;최진석;이주현;조현춘;마재평
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
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  • pp.138-139
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  • 1992
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RF magnetron sputtering에 의한 금속간화합물 TiAl의 고온 내산화코팅 (High Temperature Protective Coatings of TiAl Intermatallics by RF magnetron sputtering)

• 박상욱;박정용;위당문;오명훈
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집
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  • pp.106-106
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  • 1995
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RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구 (Preparation and Electrical Property of $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ Thin films by RF magnetron sputtering)

• 박상식;윤순길
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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  • pp.119-120
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  • 1993
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RF magnetron sputtering법에 의해 층착된 $BaTiO_3$ 박막의 in situ 결정화 양상 및 특성 (In sifu crystallization behavior and characteristics of $BaTiO_3$ thin films by RF magnetron sputtering)

• 안재민;최덕균
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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  • pp.121-122
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  • 1993
• PDF

Rf Magnetron Sputtering으로 증착된 RuO$_2$ 박막의 미세구조 및 계면 반응 특성 분석 (Microstructure and Interface Reaction of RuO$_2$ thin film deposited by Rf Magnetron Sputtering)

• 배준철;박찬경
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
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  • pp.52-52
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  • 1996
• PDF

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