Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1992.05b
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Pages.138-139
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1992

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

A study on the property of PZT Thin Film by RF magnetron sputtering

RF Magnetron Sputtering 으로 형성시킨 PZT 박막 특성 연구

하용해 (한양대학교 재료공학과) ;
백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
백상훈 (한양대학교 재료공학과) ;
최진석 (한양대학교 재료공학과) ;
이주현 (한양대학교 재료공학과) ;
조현춘 (산업기술정보원) ;
마재평 (호남대학 전자공학과)

Published : 1992.05.01

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Abstract

Keywords