Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Preferred Orientation Growth of Aluminum Nitride Thin Films deposited by RF Magnetron Sputtering

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

  • 진덕용 (전북대학교 금속공학과) ;
  • 최대규 (전북대학교 금속공학과) ;
  • 이창엽 (전북대학교 반도체물성 연구센터)
  • Published : 1999.11.01
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