• Title/Summary/Keyword: Optical Metrology

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광섬유 출력 측정용 광검출기의 비선형성 평가 연구 (Nonlinear characteristics of photodetectors for optical fiber power measurements)

  • 이덕희;류지욱;서정철
    • 한국광학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.321-324
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    • 2004
  • 광통신 출력 측정용 광검출기의 비선형성 특성을 측정하기 위하여 광합산 방법을 이용한 비선형성 측정 장치를 구성하였다. KRISS 출력 소급성을 갖는 고출력용 광검출기와 저출력용 광검출기의 비선형성을 측정하였는데, 50 ㏈의 작동영역에서 각 검출기의 비선형성은 0.01% 및 0.02% 이내로 측정되었다. 이 광검출기들은 선형성이 우수하므로 광섬유 광특성 측정 분야에서 KRISS 표준기로 사용되고 있다.

Roughness Measurement Performance Obtained with Optical Interferometry and Stylus Method

  • Rhee Hyug-Gyo;Lee Yun-Woo;Lee In-Won;Vorburger Theodore V.
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제10권1호
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    • pp.48-54
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    • 2006
  • White-light scanning interferometry (WLI) and phase shifting interferometry (PSI) are increasingly used for surface topography measurements, particularly for areal measurements. In this paper, we compare surface profiling results obtained from above two optical methods with those obtained from stylus instruments. For moderately rough surfaces ($Ra{\approx}500\;nm$), roughness measurements obtained with WLI and the stylus method seem to provide close agreement on the same roughness samples. For surface roughness measurements in the 50 nm to 300 nm range of Ra, discrepancies between WLI and the stylus method are observed. In some cases the discrepancy is as large as 109% of the value obtained with the stylus method. By contrast, the PSI results are in good agreement with those of the stylus technique.

광주파수 변조 광섬유 간섭형 센서의 개발 (Development of Optical Frequency Modulated Fiber Optic Interferometric Sensor)

  • 권일범;김치엽;김민수;이왕주
    • 센서학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.163-170
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    • 2000
  • 광주파수 변조 광섬유 간섭형 센서가 변위, 변형률 및 힘 등의 물리량을 측정하기 위하여 개발되어졌다. 일반적인 광섬유 간섭형 센서는 물리량에 따라 단지 정현파 형태의 신호를 보이기 때문에 물리량의 증감을 구별하는 것이 매우 어렵다. 본 연구에서는 물리량의 증감 방향을 구별하면서 물리량을 측정하기 위하여 단지 톱니파형으로 변조시킨 광원만을 사용하는 광섬유 마이켈슨 센서를 성하였다. 센서 출력은 일정한 정현파가 출력되도록 조절되어졌다. 출력신호는 일정 시간 간격동안 파형의 개수를 계수함에 의하여 처리되어졌다. 변형률은 파형 개수 변화량에 변형률을 구하기 위한 게이지 상수만을 곱함에 의하여 계산되었다. 이 센서의 변형률 측정 성능을 검토하기 위하여 광섬유 센서와 전기저항형 변형률 게이지가 부착된 알루미늄 시험편을 사용하여 만능시험기로 반복하중을 가하여 변형률의 증감을 측정하는 실험을 수행하였다. 이 실험으로부터 광섬유 센서에 의하여 측정된 변형률 변화량이 전기저항형 변형률 게이지의 변화량과 잘 일치하고 있음을 확인할 수 있었다.

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미량 기체의 밀도 측정을 위한 외부 공진기 반도체 레이저 광학공동 적분 투과 분광법 (Integrated Cavity Output Spectroscopy Using an External Cavity Diode Laser for the Density Absorption Measurement of Trace Gases)

  • 류훈철;유용심;이재용;한재원
    • 한국진공학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.24-30
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    • 2006
  • 광학공동 적분 투과 분광법(integrated cavity output spectroscopy, ICOS)은 파장가변 레이저와 광학공동을 이용해 미량기체의 절대 밀도를 고감도로 측정할 수 있는 실시간 흡수 분광계측 기법이다. 이 기법은 압전 소자를 이용해 길이가 변조되는 고 피네스(high finesse) 파브리-페로 공동(Fabry-Perot cavity)을 공명 투과하는 연속파 파장 변조 레이저의 적분 출력으로 부터 공동 내부 시료의 분광 흡수량을 측정하는 원리를 이용한다. 본 연구에서는 764,7nm 파장 근처에서 파장이 변조되는 외부 공진기 반도체 레이저를 광원으로 사용하고, $99.997\%$의 높은 반사율을 갖는 거울로 구성된 파브리-페로 공동을 이용해 파장에 따른 투과 감쇠 신호를 발생시키는 실험 장치를 구성하였다. 산소 기체에 대한 측정 실험을 수행한 결과, 최소 흡수계수 $8.45\times10^{-8}cm^{-1}$에 해당하는 미량기체 밀도를 측정할 수 있는 성능을 얻었다.

AQuaKET 개괄 - 초대구경 나노정밀도 광학측정법 (AQuaKET Overview - A Nano-Accuracy Testing Method for Very Large Optics)

  • 김영수
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2002년도 하계학술발표회
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    • pp.24-25
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    • 2002
  • 밀레니움을 전후하여 세계적으로 8m급 초대형 망원경들이 만들어지고 있다. ESO (European Southern Observatory)의 VLT (Very Large Telescopes) 4기, 미국 영국 카나다 등의 연합 Gemini telescope 2기, 일본의 Subaru 1기 등, 10여기의 망원경들이 완성되었고, 차세대 망원경들이 50m급으로 디자인되고 있다. 우주망원경도 지름 2.4m인 허블 우주망원경(Nubble Space Telescope)의 뒤를 이어 6m급의 차세대 우주망원경 (Next Generation Space Telescope)이 개발되고 있어서 2010년경에 발사될 예정이다. (중략)

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Energy Relaxation Dynamics of Excited Triplet States of Directly Linked Zn(II)Porphyrin Arrays

  • Song, Nam-Woong;Cho, Hyun-Sun;Yoon, Min-Chul;Aratani, Naoki;Osuka, Atsuhiro;Kim, Dong-Ho
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제23권2호
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    • pp.271-276
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    • 2002
  • The energy relaxation dynamics of the lowest excited singlet and triplet states of the Zn(II)porphyrin monomer and its directly linked arrays were comparatively investigated with increasing the number of porphyrin moieties. While the fluorescence decay rates and quantum yields of the porphyrin arrays increased with the increase of porphyrin units, their triplet-triplet (T-T) absorption spectra and decay times remained almost the same. The difference in the trends of energy relaxation dynamics between the excited singlet and triplet states has been discussed in view of the electronic orbital configurations.

헤테로다인검파방식을 이용한 광통신시스템에 관한 연구 (LD의 주파수안정화를 위한 항온기설계 에 관하여) (A Study on the Optical Communication System using Heterodyne Detection Method(Design of Thermal Chamber for LD Frequency Stabilization))

  • 임명섭;홍완희;박한규
    • 한국통신학회논문지
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    • 제10권4호
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    • pp.168-174
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    • 1985
  • 半導體 레이저의 出力 및 波長은 溫度에 대단히 敏感하다. 특히 헤테로다인光通信 씨스템이다. 光學用積密 度量衡器, 高分解能 스텍트로스코프 等測量 및 通信에서 發光源으로 使用하기 爲해서는 適當한 安定化 技術이 要求된다. 이 때 溫度의 安定은 絶對的이다 .따라서 本 硏究에서는 桓溫器의 溫度를 -27$-50^{\circ}$에서 +73$^{\circ}C$까지 임의 設定이 可能하게 하였으며 溫度 安定은 ${\pm}2m{\circ}K$보다 좋은 結果를 얻었다.

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Four Degree-of-Freedom Geometric Error Measurement System with Common-Path Compensation for Laser Beam Drift

  • Qibo, Feng;Bin, Zhang;Cuifang, Kuang
    • International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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    • 제9권4호
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    • pp.26-31
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    • 2008
  • A precision four-degree-of-freedom measurement system has been developed for simultaneous measurement of four motion errors of a linear stage, which include straightness and angular errors, The system employs a retro-reflector to detect the straightness errors and a plane mirror to detect the angular errors. A common-path compensation method for laser beam drift is put forward, and the experimental results show that the influences of beam drift on four motion errors can be reduced simultaneously. In comparison with the API 5D laser measuring system, the accuracy for straightness measurement is about ${\pm}1.5{\mu}m$ within the measuring range of ${\pm}650{\mu}m$, and the accuracy for pitch and yaw measurements is about ${\pm}1.5$ arc-seconds within the range of ${\pm}600$ arc-seconds.

패턴 빔을 이용한 BGA 단차 측정 (BGA Height Measurement Using Pattern Beam)

  • 신상훈;유영훈
    • 한국광학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.361-365
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    • 2009
  • 본 연구에서는 패턴 빔을 이용하여 표면이 거친 물체의 단차를 비접촉 방식으로 측정 하는 방법에 대하여 연구하였다. 본 연구에 사용된 방법은 장치가 매우 간단하고 스페클 노이지가 영상에 미치는 영향이 작아 재현성 면에서 매우 우수하였다. 특히 기준면에 문양이 없는 경우에는 기존의 자동 초점 측정 장치로는 측정하기 어려우나, 본 연구 방법에 의해 측정이 가능함을 보였다. 그리고 측정 시간이 매우 짧고 재현성이 좋으며 장치가 간단하여 산업 현장에서 응용하기 적절한 방법이다.

광위상간섭에 의한 경면의 정밀 형상측정 (Precision Profile Measurement of Mirror Surfaces by Phase Shifting Interferometry)

  • 김승우;공인복;민선규
    • 대한기계학회논문집
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    • 제16권8호
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    • pp.1530-1535
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    • 1992
  • 본 연구에서는 초정밀 경면의 표면형상을 비접촉식으로 측정하기 위한 광위상 간섭법(phase shifting interferometry)에 관한 연구결과를 기술하였다. 리닉(lin- nik) 광학계를 이용한 광위상간섭에 대한 기본 측정원리를 정립하고 표면측정을 위한 간섭무늬처리 영상해석 알고리즘을 개발하였다. 그리고 실제적인 경면의 측정을 통 하여 개발한 광학계 및 측정 알고리즘의 타당성을 검증하였다.